双PSD实现长直导轨四自由度测量的新方法.pdfVIP

第35卷第6期 光学仪器 V01．35，No．6 2013年12月 OPTICAL INSTRUMENTS December，2013 文章编号：1005—5630(2013)06—0026—05 * 双PSD实现长直导轨四自由度测量的新方法 柳常清1，宋庆1，孙占文2，吴韩飞· (1．长春理工大学机电工程学院，吉林长春130022； 2．哈尔滨工业大学机械工程与自动化学院，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：介绍一种基于双二维PSD实现大长度宽范围直线导轨俯仰角、偏摆角以及空间二维直线 度等四个自由度在线测量的新型方法，对其测量原理进行了分析和论证，并建立了求取长直导 轨俯仰角、偏摆角的数学模型和基于激光空间偏角修正基础上的二维直线度的数学模型；讨论 了影响测量过程的各种因素，提出