基于线电极原位制作的微细电解线切割加工.pdfVIP

第17卷第11期 光学精密工程 V01．17No．11 andPrecision 2009年I1月 Optics Engineering Nov．2009 文章编号 1004—924X(2009)11—2738—06 基于线电极原位制作的微细电解线切割加工 王 昆1，朱 荻2 (1．同济大学机械工程学院，上海200092； 2．南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016) 摘要：微细电解线切割加工是一种微细加工新方法。为了提高加工精度，该方法将微米尺度线电极的制作与后续加工集 成在一个工艺系统中完成，进行了基于线电极原位制作的微细电解线切割加工技术的研究。从理论上分析了线电极直 径大小对微细电解线切割加工精度的影响，提出了原位制作微米尺度线电极的方法，并制作出直径为5t,rn的钨丝线电 极。通过试验，加工出缝宽为20“m左右的微型桨叶结构和曲率半径在1g．m以下的微细尖角结构。试验结果表明：线 电极的原位制作技术能提高微细电解线切割的加工精度，工艺兼容性好，能满足微米尺度微细结构的加工要求。 关键词：微细电解线切割加工；线电极；原位制作 中图分类号：TG662文献标识码：A micro Wireelectrochemical machiningby insitu wireelectrode using fabricating WANGKunl。ZHUDi2 Mechanical i 200092，China； (1．Collegeof Engineering，TongJUniversity，Shanghai MechanicalandElectrical 2．Collegeof Engineering，NanjingUniversityof Aeronauticsand 210016，China) Astronautics，Nanjing Abstract：WireElectrochemical anewmethodofmicrofabrication．In Micromachining(WEMM)iS ordertO the insitufabricationofawireelectrodeandthe improvemachiningaccuracy，the following oftheWEMMare intoone theWEMM insitu process integratedsystem，and technologybyusing inthis ofwire wireelectrodeis ofthediameterelectrodeonthe fabricating investigatedpaper．Effects ofWEMMare insitufabricationofwireelec- machiningaccuracy investigated