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职级晋升系列之实验设计（DOE）入门全球品管中心活动案例说明：直升机飞行实验裁剪方式：A:机翼宽度FACTOR(-1)Level(1)LevelA2cm4cmB8cm10cmC2cm3cmB:机翼长度C:机身宽度参考设定值：8cm虚线：对折实线：剪裁参考设定值：2cm目录什么是DOE二. DOE的原理和作用三. DOE的种类和步骤四. DOE案例一.什么是DOEDOE是一种结构化和系统化的方法，能有效、快速地揭示多个过程变量(Xs)与输出或质量特性(Y)的因果关系，以确定影响过程响应的最重要的因子(Xs)，从而获得最佳响应(Y)。噪声/不可控因子机身宽度质量特性 (飞行时间T)机翼长度过程因子(X)响应 (Y)机翼宽度响应 (Y)=过程F（因子X）二. DOE的原理和作用DOE的原理工程实践统计原理显著因子？实验次数？相互影响？…..二. DOE的原理和作用案例—12“形成轻微表面小黑点小黑点逐渐变大小黑点变大SD层GI层Step1:Buffer PVX Etch的Power由6500W→→3000W,改善不明显Step2：PVX Etch的Power由3000W→→2500W，改善明显但工艺调整有限Step3：DOE实验PVX Etch后1st ITO刻蚀液浸泡Buffer PVX Etch后Buffer PVX EtchBuffer PVX EtchPower（W）Press（mT）SF6（sccm）O2（sccm）He2（sccm）Time（s）改善前65001503000100050改善后3000753000100045PVX Etch改善前300015030045040086改善后250015050030060086二. DOE的原理和作用 DOE的作用例：CELL 刻蚀 点类不良Issue!!! 三.DOE的种类和步骤DOE 种类要求因子数量目的作用筛选实验:田口设计PlackettBurman设计低现在工序了解程度高区分主效应6以上筛选重要因子部分因子实验4~10筛选重要因子主效应和部分交互作用全因子实验2~5因子与Y的关系所有主效应和交互作用，建立数学模型(线性效果）响应曲面实验2~3设定因子的最佳条件响应变量的预测模型(曲线效果）三.DOE种类和步骤PplanWwhatCchooseDdoAanalysis选择合适的DOE方法实施实验收集数据分析结果改善实施明确问题和目标策划因子“x”策划实验过程“F”策划响应变量“Y”-.陈述实际问题-.期望的改善方向？-.望大/小/目？-.计量/计数型？-.计量/计数型？-.水平如何？-.过程能力？-.因子数量如何？-.实验经费如何？-.数据有无异常？-.模型是否符合？-.继续实验 or实施改善？Y=F（x）实验设计阶段分析改善阶段四.DOE案例案例说明：直升机飞行实验响应设定：Y：飞行时间(秒)目标飞行时间最大化因子及水平定义：FACTOR(-1)Level(1)LevelMaterialCardPaperWingShortLongBodyshortLong1. 3因素2水平全因子实验2. 重复一次，共16次实验四.DOE案例创建设计Step.1 启动软件Step.2 创建设计四.DOE案例构建全因子实验矩阵Step.1 因子数Step.2 设计方案Step.3 具体参数四.DOE案例全因子水平选择Step1.因子选择Step.2 数据类型水平四.DOE案例数据填写Step1输入响应Step2 计算均值标准序运行序中心点区组MaterialWingBodyTimer1Timer2平均值4111PaperLng WngSht Bdy2.632.532.5813211CardSht WngLng Bdy1.561.621.593311CardLng WngSht Bdy1.871.721.7956411PaperSht WngLng Bdy2.252.162.2058511PaperLng WngLng Bdy2.782.622.710611PaperSht WngSht Bdy2.282.372.3251711CardSht WngSht Bdy1.631.721ardLng WngSht Bdy1.971.811.897911CardLng WngLng Bdy1.941.941aperLng WngSht Bdy2.962.752.855141111PaperSht WngLng Bdy2.031.911ardLng WngLng Bdy1.721.631ardSht WngLng Bdy1.441.531ardSht WngSht Bdy1.51.681.591615
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