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项目4 压力测量 一．教学目的 1．学习压力的概念。 2. 掌握扩散硅压阻式压力传感器工作原理。 3. 学习使用扩散硅压阻压力传感器测量压力，把压力变化引入测量电路使其输出电压。 二．任务分析 压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应和集成电路工艺制成的传感器。由于它没有可动部分，所以有时也称为固态传感器。它在工业中多用于与应变有关的力、重力、压力、压差、真空度等物理量的测量。经过适当的换算，也可用于液位、流量、加速度、振动等参数的测量。本项目主要介绍它在压力(压差)测量中的应用。 三.基础知识 1.压力的基本概念 压力单位转换对照表 2.电容式差压变送器 电容式差压变送器内部结构 1—高压侧进气口 2—低压侧进气口 3—过滤片 4—空腔 5—柔性不锈钢波 纹隔离膜片 6—导压硅油 7— 凹形玻璃圆片 8—镀金凹形电极 9—弹性平膜片 10—? 腔 各种电容式差压变送器外形 各种电容式压力变送器外形（续） 各种电容式压力变送器外形（续） 3.利用电容差压变送器 测量液体的液位 差压变送器 电容差压变送器用于测量液体的液位 压阻式固态压力传感器 利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好，灵敏度相等，漂移抵消，迟滞、蠕变非常小，动态响应快。 4.压阻式固态压力传感器 隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与硅膜片 隔离开来。 压阻式固态 压力传感器 内部结构 信号处理电路 小型压阻式固态压力传感器 高压进气口 小型压阻式固态压力传感器（续） 呼吸、透析和注射泵设备中用的压力传感器 小型压阻式固态压力传感器（续） 表压压力传感器 * * 压力的国际单位为“帕斯卡”，简称“帕”（Pa）。 除此之外，工程界长期使用许多不同的压力计量单位。如“工程大气压”、“标准大气压”、“毫米汞柱”，气象学中还用“巴”（bar）和“托”为压力单位。这些单位在一些进口仪表说明书上可能还会见到。 高压侧进气口 低压侧进气口 电子线路位置 内部不锈钢膜片的位置 （参考丹东长隆 自控有限公司 资料） 法兰 施加在高压侧腔体内的压力与液位成正比： p =? g h 投入式水位计 低压进气口 绝对压力传感器 p1进气管 p2进气管 固态压力传感器 p1进气管
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