半导体生产用高纯气体供应系统-气体分离设备.PDFVIP

洁净与空调技术 半导体 生产用 高纯气体供应 系 统 中国电子 工程设计 院 陈霖新 文 文 用 纯 的 类 、 品 应 , 以 大 电 摘 本 简介半导体 高 气 种 质要求和供 系统 对 超 规模 集成 路 、 了 , 为代表 的半导体 高纯 气 的制 取 纯化和 高纯 气配 管技术进行 介绍 可供从 事高纯 气供 气 系统 设计 、 施工和运 营人 员参考。 关键词 高纯 气体 供气 系统 制取 纯化 配管 为 七旧 ‘ 详日, 甲习 以 , 甲眠 脚 而 比 丘月 仆 司 , 面 邝 眠 脚 加 叭罗 朗习记 几 此 记 淤 欢 却 祀 脚 示 创蚊 饰吨 , 不 至 , 难 若 能及时解救也会有危 险甚 死亡 这类气 概述 、 、 、 体有 姚 伍 等 半导体生产用高纯气可分为两大类 腐蚀性气体 , 通 常遇水就显示 其腐蚀 是普通气体 的高纯气或称大宗气体的高 性 , 如 、 几 、 等。 许 多气体 同时兼有多种 , 。 , 些 、 、 予 。 纯气 另 一 为 特 种 气体 大宗气 体 主 要 有氢 气 性质 在这 气体输送 储运 使用 中应