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東南技術學院機械工程系
專題製作報告
光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之
製程與設備技術實務
指導老師 ：王 俊 程
學 生 ：楊 文 凱
李 岱 昀
中華民國90 年 12 月 25 日
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摘要
目錄
第 一 章 簡 介… … … … … … .… … … … … … … … … … … … … … … … … … ..… 1
第 二 章 光阻鍍膜機製程介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 2
2.1 光阻的化學性質與作用… … … … … … .… … … … … … … … … … … … … .2
2.2 光阻化學成分簡介… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...3
2.3 光阻劑主成之要點… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 5
2.4 去水烘烤／ＨＭＤＳ … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ..6
2.5 光阻塗佈機製程原理及關係式… … … … … … … … … … … … … … … … ...7
2.6 軟烤的溫度控制… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .9
第 三 章 光阻鍍膜機設備介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … .10
3.1 機構介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 10
3.2機台零件名稱之介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .13
3.3 機台保養之注意… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .14
3.4 光阻劑名稱種類… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … .16
3.5 機台的清洗及管路介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … … … .17
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第 四 章 北區微機電中心光阻塗佈機實作介紹
4.1 操作面板 … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … … 18
4.2 機台自動操作模式… … … … … … … … … … … … … … … … … … … … ...21
4.3 機台循環系統介紹… … … … … … … … … … … … … … … … … .… .… … .22
第 五 章 濕蝕刻清洗機(去光阻)製程介紹
5.1 清洗理論… … … … … … … … … … … … … … … … .… … … .… … … … .… .23
5.2 清洗配方… … … … … … … … … … … … .… … … … … … ...… … … … .…
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