扩散间基本操作.pptVIP

扩散的基本操作 扩散工艺流程 装片 → 送片 → 扩散 → 下舟 卸片 方块电阻测试 扩散基本操作 打开扩散传递窗对流入扩散间的硅片进行自检，首先检查硅片绒面有无色斑，硅片是否甩干，确认有无碎片、裂纹片，并对照流程卡确认数量，如有及时报告工序长分清职责避免生产统计中差异的产生 。 将硅片从传递窗取到扩散装片台上 ，注意只能一只手取一只盒子，严禁一手拿取二只盒子，拿取盒子要轻拿轻放 。取完硅片要及时关闭传递窗。 在插片前要先检查一下石英舟是否完好，如有裂痕要及时作醒目标识并隔离。扩散装片采用双片单面扩散，即在同一槽内同时插入二片硅片，边装片边检查硅片绒面状况，有绒面问题的要及时挑出。 将插好硅片的石英舟放至指定地点，等待空闲的石英管，待slider完全退到外面后，把装满硅片的舟放置于slider正中，选择好工艺号，按确定按钮。 扩散工艺结束后，把石英舟从slider上取下，放到卸片台上。待硅片充分冷却后，等距离的抽取5片测方块电阻值，记录好方块电阻值。将硅片卸入硅片盒中，最下面一片应扩散面向上，最上面一片应扩散面向下，避免扩散面受到磨擦而损伤。 填写好工序流程卡和生产记录，要注明时间和操作者，时间一定要准确，以便于以后查询，将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗口，关上传递窗(扩散后的硅片要禁止堆积过高) 。 测方块电阻作业 将扩散好的硅片从桨上取下