青岛理工大学自动化工程学院检测技术与控制仪表课件 压力检测.pptVIP

基本要求： 1、了解有关压力的概念及相关表示方法； 2、熟悉常用压力检测仪表； 3、了解常用压力检测仪表的使用特点及常见压力检测系统。 注意： 压力测量仪表一般都在大气环境中工作，所以它测得的压力实际上是其压力敏感元件内部流体介质压力（绝对压力）与外部大气压力之差，很显然，不同地区测得大气压力是不同的，表压力是不同的。 在工程中，除非特别指明，一般所指压力即为压力表测得的压力。 通常把表压力简称为压力。 膜片与膜盒 电位器式压力传感器 电容式压力传感器 电容式差压传感器 图 （a） 1.2－测量膜片（或隔 离膜片）； 3－感压膜片； 4.5－差动电容； 6－绝缘体。 光电式压力传感器 膜片的拉伸张力 膜片直径 无压力时电容极距 电感式压力传感器 5.2.2 力平衡式压力计 原理：反馈力平衡 力平衡式压力计的基本框图 5.2.3 压力传感器 5.2.3.1 应变式压力传感器 原理：导体和半导体材料发生机械变形时，其电阻值将发生变化 几种应变式测量的结构示意 5.2.3 压力传感器 5.2.3.2 压阻式压力传感器 原理：硅片受压后，膜片的变形使扩散电阻的阻值发生变化 桥式测量电路，桥臂 电阻对称布置，电阻变化 时，电桥输出电压与膜片 所受压力成对应关系 压阻式压力传感器结构示意图 1—硅平膜片；2—低压腔；3—高压腔； 4—硅杯；5—引线 5.2.3 压力传感器 5.2.3.3