扩散泵的洗净a.PPT

扩散泵大修顺序 敬请阅读 本顺序书是为SHINCRON公司人员教育用而作成的。 客户使用本顺序书进行大修、修理时引起事故、故障SHINCRON概不负责。 同意以上条件者请参考以下的顺序书进行大修、修理。 分解设备前的条件 1.分解设备前的条件 　　　 ③ 把拆下来的出口侧的蓝色水管放到准备好的水盘里，从入口侧蓝色的水管处用气枪吹出扩散泵内的冷却水。 ④　 拆下扩散泵下方的绝缘陶瓷的挡盖，做上吻合标记，拆下3根 电源线? ⑤　拆下扩散泵侧冷却水的入口和出口侧的袋螺母，并把蓝色管子拆下。此时，不要忘记标上吻合标记? ⑥　把扩散泵上带有的4只带支架脚轮降到最下面。 ⑦　把辅助阀的螺丝全部松开。等松开后，慢慢松开1英寸的密封拴或油量计用的1英寸螺母，由密封挡口徐徐导入大气，然后拆下辅助阀。 扩散泵的洗净与喷射部的分解及洗净 ①　扩散泵与喷射部的分解 3 洗净 溶剂请使用盐酸系列或者聚四氟乙烯系列的溶剂。（请勿使用石油系列的溶剂。石油系列的溶剂中油分与扩散泵油有所不同，含有的不纯物较多。） b.　 洗净时所准备的工具有油盘、抹布、尼龙砂纸（百洁布等尼龙系列的东西），对于脏污严重的部位，请准备400?～600?左右的砂纸。 c.　 洗净时为了不把地面沾上油污或者溶剂，请铺上塑料薄膜，在上面作业。 ②　扩散泵的洗净 ③　喷射部的分解及洗净 c.　把溶剂倒入油盘，使用百洁布把分解后的喷射部分清洗干净。洗净时请使用手套，并在通风良好处作业。 　　 喷射伞架的安全挡部及加热炉阀部要比其他部位更烧焦并附有黑色的烧焦物，请使用百洁布或者400?～600?的砂皮把黑色烧焦物清除干净。 d.　 洗净结束后使用新的抹布沾上新的溶剂一个个擦拭干净，至此喷射部位的洗净工作完全结束。 ④　喷射部的组装以及扩散泵的组装 b．交换油量计部、排油管部的垫圈。 c.　扩散泵的组装按照分解顺序的反顺序进行。组装完成后，请加入规定量的扩散油。至此组装全部结束。 新柯隆真空設備(上海)有限公司 Sｅｒｖｉｃｅ Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ． ①　设备必须停止?(真空室为大气，控制电源ＯＦＦ。) ②　扩散泵的油温必须降下来?(扩散泵的电源OFF后，冷却水在冷却状态放置５个 小时?) ③　停止冷却水与气压。 ２.扩散泵的分解作业（ＤＰ的型号，使用油量记载在ＤＰ下部侧面的铭牌板。） ① 关闭扩散泵冷却水。关闭冷却水管道部的扩散泵的入口和出口侧的手动阀 (球阀)，停止冷却水? 　　 ② 松开手动阀 (球阀)上部入口和出口侧的袋螺母，把蓝色的管子拆下。 ※ ＤＰ?????扩散泵 袋螺母 扩散泵出口侧　手动阀(关) 扩散泵入口侧　手动阀(关) 出口侧水管 入口侧水管 气枪 比HD-450小的扩散泵，冷却水回路为1条，HD-550以上有3条? 有3条回路的，可以把①～③重复3次?） 吻合标记 吻合标记 （过快的导入大气有时会使扩散泵中的喷射伞架飞溅出来导致破损所以请千万要注意。） 辅助阀 １英寸　密封拴 １英寸　油量计用螺母 油量计用螺母 高真空阀 吻合标记 水冷井 长螺丝（反方向也有1根?） 如果长螺丝有转动，请按这里。 吻合标记 把扩散泵与高真空阀紧合在一起的螺丝除长螺丝外都拆下来? ⑨　把高真空阀与水冷井、扩散泵部，分别做上吻合标记? ⑩　把2根长螺丝的螺母，单侧一点一点的松缓， 平衡的卸落到地上。 此时，注意旋转时不要让长螺丝掉出来。如果出现转动时，可用扁嘴钳等夹住。 ?　当脚轮卸落到地面时，拔下2根长螺丝。 ?　保持水冷井不落下，并请移到宽敞的地方。 接下来进行扩散泵的洗净与喷射部的分解及洗净。 螺钉 垫片 螺丝 ａ.　把中央的螺钉与垫片拆下。 b.　把扩散泵与喷射部固定的螺丝拆下。 螺钉 垫片 冷冻盖 弹簧 陶瓷片 c.　把冷冻盖向上抬起取下。 　　此时，注意把中间的弹簧与垫片不要弄丢? d.　把陶瓷片向左旋并取下。 喷射器 加热炉阀 抽气阀 d.　把喷射器、加热炉阀、抽气阀从扩散泵上取出，放到油盘中。 a.　取出扩散泵内的扩散油。台面上放上可以缓冲物（多层抹布等），为使油不从抽气阀漏出，请横着放。此时注意不要损坏绝缘碍子（陶瓷）与水冷管。横着放好后，抬扩散泵脚轮使之稍稍倾斜以尽快倒出扩散油。 绝缘碍子 抹布层(废布等可缓冲