椭偏测薄膜厚度.PPT

用椭圆偏振仪测量薄膜厚度 ——叶昕;【实验目的】;【实验原理】; 图8.1;设 表示光的入射角，和分别为在界面1和2上的折射角．根据折射定律有 （8.1） 光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的p分量和垂直于入射面振动的s分量．若用Eip和Eis分别代表入射光的p和s分量，用Erp及Ers分别代表各束反射光K0，K1，K2，…中电矢量的p分量之和及s分量之和，则膜对两个分量的总反射系数Rp和Rs定义为 （8.2） ;经计算可得 （8.3） 式中，r1p或r1s和r2p或r2s分别为p或s分量在界面1和界面2上一次反射的反射系数。为任意相邻两束反射光之间的位相差。根据电磁场的