惯性冲击式压电精密定位装置的设计.PDFVIP

圆园员远年 苑月 机械科学与技术 允怎造赠 圆园员远 第猿缘卷 第苑期 酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠枣燥则粤藻则燥泽责葬糟藻耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早 灾燥造援猿缘 晕燥援苑 阅韵陨院员园援员猿源猿猿辕躁援糟灶噪蚤援员园园猿鄄愿苑圆愿援圆园员远援园苑园圆 惯性冲击式压电精密定位装置的设计 周昇袁黄卫清袁朱华袁王寅 渊南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室袁南京摇 圆员园园员远冤 摘要院为了实现对负载纳米级的精密定位袁提出了一种利用压电材料作为驱动元件的三驱动足精密定 位装置遥 设计了基于惯性冲击原理的精密定位装置的结构袁介绍了其具体工作过程袁并对驱动足的工 作过程进行了理论分析遥 制作样机并搭建了实验系统袁采用显微镜物镜进行了定位性能的测试遥 实 验结果表明院在锯齿波电压信号的驱动下袁通过改变驱动电压信号的占空比袁该精密定位装置能够实 现所夹持负载的双向直线运动袁当电压值为愿园灾曰电压频率为愿园匀扎时袁该装置的位移分辨率可以达 到员园园灶皂的精度袁且运行平稳袁工作性能良好袁步距均匀袁可以实现所夹持负载纳米级的定位要求遥 关键词院压电材料曰精密定位曰惯性冲击曰位移分辨率 中图分类号院栽匀员圆圆曰栽匀苑源圆摇 摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 摇 文章编号院员园园猿鄄愿苑圆愿渊圆园员远冤园苑鄄园怨怨圆鄄园远 阅藻泽蚤早灶燥枣孕蚤藻扎燥藻造藻糟贼则蚤糟孕则藻糟蚤泽蚤燥灶孕燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早 阅藻增蚤糟藻遭葬泽藻凿燥灶陨灶藻则贼蚤葬造陨皂责葬糟贼蚤燥灶 在澡燥怎杂澡藻灶早袁匀怎葬灶早宰藻蚤择蚤灶早袁在澡怎匀怎葬袁宰葬灶早再蚤灶 渊杂贼葬贼藻运藻赠蕴葬遭燥则葬贼燥则赠燥枣酝藻糟澡葬灶蚤糟泽葬灶凿悦燥灶贼则燥造燥枣酝藻糟澡葬灶蚤糟葬造杂贼则怎糟贼怎则藻泽袁 晕葬灶躁蚤灶早哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣粤藻则燥灶葬怎贼蚤糟泽葬灶凿粤泽贼则燥灶葬怎贼蚤糟泽袁晕葬灶躁蚤灶早圆员园园员远袁悦澡蚤灶葬冤 粤遭泽贼则葬糟贼院陨灶燥则凿藻则贼燥葬糟澡蚤藻增藻灶葬灶燥皂藻贼藻则造藻增藻造责则藻糟蚤泽蚤燥灶责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早燥枣燥遭躁藻糟贼泽袁贼澡蚤泽责葬责藻则责则藻泽藻灶贼泽葬贼澡则藻藻凿则蚤增藻灶 枣燥燥贼责则藻糟蚤泽蚤燥灶 责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早 凿藻增蚤糟藻 怎泽蚤灶早 责蚤藻扎燥藻造藻糟贼则蚤糟 皂葬贼藻则蚤葬造 葬泽 贼澡藻 凿则蚤增蚤灶早 藻造藻皂藻灶贼援 栽 贼澡藻 凿藻泽蚤早灶 责则蚤灶糟蚤责造藻泽 燥枣 责则藻糟蚤泽蚤燥灶责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早凿藻增蚤糟藻遭葬泽藻凿燥灶蚤灶藻则贼蚤葬造蚤皂责葬糟贼蚤泽凿藻泽糟则蚤遭藻凿袁葬灶凿蚤贼泽泽责藻糟蚤枣蚤糟憎燥则噪责则燥糟藻泽泽蚤泽蚤灶贼则燥凿怎糟藻凿栽澡藻灶 贼澡藻皂葬贼澡藻皂葬贼蚤糟葬造葬灶葬造赠泽蚤泽燥枣贼澡藻憎燥则噪蚤灶早责则燥糟藻泽泽燥枣凿则蚤增藻灶枣燥燥贼蚤泽糟葬则则蚤藻凿 燥怎贼援酝葬凿藻粤责则燥贼燥贼赠责藻葬灶凿藻曾责藻则蚤皂藻灶贼葬造 泽赠泽贼藻皂蚤泽遭怎蚤造贼葬灶凿葬皂蚤糟则燥泽糟燥责藻燥遭躁藻糟贼蚤增藻造藻灶泽蚤泽怎泽藻凿贼燥贼藻泽贼贼澡藻责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早责则藻糟蚤泽蚤燥灶援栽澡藻则藻泽怎造贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼遭赠 糟澡葬灶早蚤灶早贼澡藻凿怎贼赠糟赠糟造藻燥枣贼澡藻凿则蚤增蚤灶早增燥造贼葬早藻泽蚤早灶葬造袁贼澡藻责则藻糟蚤泽蚤燥灶责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早凿藻增蚤糟藻蚤泽糟葬责葬遭造藻燥枣遭蚤鄄凿蚤则藻糟贼蚤燥灶葬造 造蚤灶藻葬则皂燥增藻皂藻灶贼燥枣贼澡藻糟造葬皂责蚤灶早造燥葬凿憎蚤贼澡贼澡藻泽葬憎贼燥燥贼澡泽蚤早灶葬造葬泽贼澡藻凿则蚤增蚤灶早增燥造贼葬早藻援宰澡藻灶贼澡藻增燥造贼葬早藻蚤泽愿园灾葬灶凿 贼澡藻增燥造贼葬早藻枣则藻择怎藻灶糟赠蚤泽愿园匀扎袁贼澡藻责则藻糟蚤泽蚤燥灶责燥泽蚤贼蚤燥灶蚤灶早凿藻增蚤糟藻糟葬灶葬糟澡蚤藻增藻贼澡藻皂蚤灶蚤皂怎皂则藻泽燥造怎贼蚤燥灶燥枣员园园灶皂袁 葬灶凿蚤贼憎燥则噪泽泽皂燥燥贼澡造赠憎蚤贼澡早燥燥凿责藻则枣燥则皂葬灶糟藻袁皂藻藻贼蚤灶早贼澡藻则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼燥枣灶葬灶燥皂藻贼藻则鄄泽糟葬造藻责燥泽蚤