常压化学水解反应生长氧化锌晶体.PDFVIP

　第 36卷 第 4 期 　 　　　　　　　　人 　工 　晶 　体 　学 　报　　　 　　　 　 　Vol. 36　No. 4 　 2007年 8月 　　　　　　 　　　 JOURNAL OF SYN TH ETIC CRYSTAL S 　　　 　 　　 　 　A ugu st, 2007 常压化学水解反应生长氧化锌晶体 蔡淑珍, 秦向东, 高 　平 , 李 　哲, 罗小平 , 胡志鹏 ,付三玲 , 韦志仁 (河北大学物理科学与技术学院 ,保定 07 1002) 摘要 :采用 ZnCl ·2H O 在常压下高温水解反应生长 ZnO 晶体 ,反应温度为 500 ℃。当以 SiC为衬底时 ,可以获得 2 2 μ μ 六棱柱形氧化锌晶体 ,直径约为 10 m ,长为 30 ～100 m 。当衬底为蓝宝石时 ,氧化锌沿 [ 0001 ]呈定向柱状生长 ,柱 μ 的直径为 5 ～10 m ,柱之间具有较多的内部缺陷 。当以 ZnO 为衬底时 ,在 {000 1}面 ,形成连续膜 ,表面扫描电镜分 析表明 ,晶体具有明显的极性生长特征 , [ 000 1 ]方向呈螺旋柱状生长 。在 {000 1}面 , 晶体的平整性较好 ,呈现台阶 性生长 。 关键词 :氧化锌 ;化学水解反应 ;衬底 中图分类号 : O782 　 　 文献标识码 : A 　 　 文章编号 : 1000985X (2007) 0409 1804 Prepara tion of Z inc O x ide Cry sta l by Chem ica l Hydroly sis Reaction a t A tm ospher ic Pressure CA I S hu zhen, Q IN X iang dong, GA O P ing, L I Z he, L UO X iaop ing, HU Z h ip eng, FU S an ling, W E I Z h iren ( College of Physic s Science and Technology , H ebei Un iversity, B aoding 07 1002 , Ch ina) (R eceived 7 J anua ry 2007) A b stract: In th is p ap er, ZnO crystals were syn the sized by h igh temp eratu re vapor hydro lysis m ethod w ith ZnC l ·2H O at 500 ℃, and at atmo sp heric p re ssu re on SiC, sapp h ire and ZnO wafer sub strate. W hen 2 2 μ the sub strate wa s SiC, the