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奈米半導體材料之氣體感測性質 文／吳泉毅、楊宗燁、林鴻明 摘 要 半導體金屬氧化物氣體感測材料由於對氣體有很好的靈敏度、材料成本低廉、元件製作簡單，可作成體積小易於攜帶的氣體監測器，若與微處理器組合可成一智慧型氣體監測器等優點，這是昂貴的分析儀器所無法比擬的。因此可廣泛應用於家庭、工廠環境中之毒性氣體及燃燒或爆炸性氣體的偵測上，以保障生命及財產安全。奈米半導體微粒已被證實具有相當傑出之氣體感測性質，具有高比表面積，製作成奈米多孔隙燒結膜，不但可保有其對氣體感測反應表面積，增加其結構之穩定性，更可提高氣體感測材料對氣體之靈敏度及響應效率，此技術的發展成功將可增進工業界感測器開發能力，有效開發微氣