真空获得以及测量运用应用技术.pptVIP

第二章 真空的获得与测量技术;;JP450磁控溅射镀膜系统;等离子增强CVD和热丝CVD复合系统;2.1 气体分子运动论的基本概念;2.1 气体分子运动论的基本概念;;2.气体分子的运动速度及其分布;2.1 气体分子运动论的基本概念;4. 单位面积上气体分子的碰撞频率 即单位面积上气体分子的通量;衬底完全被一层分子覆盖所需时间：;5 真空度 真空度的常用单位为帕（Pa) 或托（Torr): 1 Torr = 133 Pa 真空度可分为： 低真空： ?102Pa 工业应用（包装） 中真空： 102~10-1Pa CVD沉积技术 高真空： 10-1~10-5Pa 溅射沉积技术 超高真空：? 10-5Pa 原子表面和界面分析;2.2 气体的流动状态和真空的获得;2.2 气体的流动状态和真空的获得;2.2气体的流动状态和真空的获得;2. 气体管路的流导 真空管路中气体的通过能力，流导C定义为 P1和P2为管路两断的气压，Q为单位时间内通过管路的气体流量。 对分子流状态的气体：流导与气体压力无关 A：管路截面积 对粘滞流，流导随气体的压力呈现复杂变化 ;流导的串联和并联;2.2 气体的流动状态和真空的获得;;2.2 气体的流动状态和真空的获得;真空的获得;真空的获得;工作原理： 依靠偏心连杆机构驱动滑阀，在滑阀运动时，气体经由吸气口被吸入泵体内，然后在滑阀压缩下经排气阀排出泵体 工作参数： 理论抽速：Sp=Vf (V为转子与定子间的体积；f为转速） 实际抽速： 10-500L/s 极限真空：单级为103Pa；两级串联为1Pa 特点与使用 单独使用或用作其它泵的前级泵，低真空系统。 缺点：油污染。;工作原理： 依靠放置在偏心转子中的可以滑进滑出的旋片，将气体隔离，压缩，然后排出泵体之外。 工作参数： 理论抽速：Sp=Vf: (V为转子与定子间的体积；f为转速） 实际抽速： 1-300L/s 极限真空：单级为1Pa；两级串联为10-2 Pa 特点与使用 单独使用或用作其它高级泵的前级泵，低真空系统. 缺点：油污染 ;型号：2XZ-2, 2XZ-4, 2XZ-8;（3）真空泵简介干性机械泵;工作原理： 泵体内两个呈8字型的转子以相反的方向旋转，转子的咬合精度很高，且转子间，??子与泵体间无需油作密封，转速高，抽速快。 工作参数： 理论抽速：Sp=Vf: 实际抽速： 1-103L/s 极限真空：10-2 Pa 特点与使用 与旋片机械泵串联使用，不能直接向空气排气。现正设计新型的可直接向空气排气的罗茨泵。高真空系统；价格较贵。;;工作原理： 将扩散泵油加热至高温蒸发状态(200oC)，让油蒸气呈多级状向下定向高速喷出时不断撞击使其被迫向排气口运动，在压缩作用下被排出泵体。同时泵体冷却的油蒸汽又会凝聚返回泵的底部 工作参数：实际抽速： 1-104L/s (决定于泵体口径） 极限真空：10-5 Pa 特点与使用 与旋片机械泵串联使用，需要机械泵抽预真空(1Pa)；油污染；价格便宜。;（6）真空泵简介- 涡轮分子泵;特点与使用 与旋片机械泵串联使用，需要机械泵抽预真空至1Pa以下；无油污染；价格昂贵。 导致涡轮泵出问题的最常见的原因 1 、突然将泵暴露于大气之下，涡轮叶片弯曲并互相碰撞， 导致极大的失败。 2、涡轮泵的回转轴是精密平衡的，所以在使用过程中严禁移动或冲撞。;（7）真空泵简介- 低温吸附泵;（8）真空泵简介- 溅射离子泵;2.4 真空测量技术;（1）真空测量技术-热偶规或皮拉尼规;（2）真空测量技术—电离真空规;（3）真空测量技术--薄膜???空规;1.5 几种典型真空系统的建立—（1）低真空系统;2.5 几种典型真空系统的建立—(2)高真空系统;真空室;真空系统建立纲要;本章作业