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体声波谐振器资料.pptxVIP

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  • 2019-05-26 发布于山东
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体声波谐振器资料.pptx

    薄膜体声波谐振器及其制造方法;背景技术;具有反射层的FBAR;具有气隙的现有技术中的FBA剖视图;解决的方法——提供支撑层;;上述问题的解决方法;剖视图;制造步骤;二、牺牲层的形成;三、气隙形状的形成;四、支撑层的形成;五、激活区的形成;六、电极的形成;七、气隙的刻蚀;总结;Thank you

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