现代传感与检测技术绪论.pptVIP

第一章 绪论 采用微细加工技术 微细加工技术除全面继承氧化、光刻、扩散、淀积等微电子技术外，还发展了平面电子工艺技术、各向异性腐蚀、固相结合工艺和机械切断技术。利用这些技术对硅材料进行三维形状的加工，能制造出各式各样的新型传感器。 第一章 绪论 智能化 “电五官”与“电脑”的结合，就是传感器的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转换功能，同时还具有记忆、存储、解拆、统计处理及自诊断、自校淮、自适应地等功能。 第一章 绪论 仿生传感器 人体感觉器官由非常复杂的细胞组成并与人脑联接紧密，配合协调。研究人体感觉器官，开发能够模仿人体嗅觉、味觉、触觉等感觉的仿生传感器，用工程传感器要完全替代人的五官 。 第一章 绪论 （2）提高与改善传感器的技术性能，扩大应用范围 稳定性处理 为提高传感器产品性能的稳定性，应对材料、元器件进行时效处理、冰冷处理、时间老化处理、温度老化处理、机械老化及交流稳磁处理，电器元件必须进行电老化筛选处理。 第一章 绪论 补偿和修正技术 根据传感器的特性找出误差的来源和变化规律，可采用补偿和修正技术进行补偿和修正。对于系统误差，由于补偿和修正的技术手段比较完善，因此通过补偿和修不技术．大多数情况下可以满足性能指标。 平均技术 采用平均技术可产生平均效应，仪器误差减小并增加传感器的灵敏度。 第一章 绪论 屏蔽、隔离与抗干扰 因外部环境