20XX年晶硅太阳能电池常规工艺简介.pptVIP

洁净室标准 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就209D 及209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。 美国联邦标准《Fed-Sta-209E》为洁净室洁净等级，一个历史阶段以来，为世界各国所采用，在规范设计行为方面，发挥了巨大的作用，随着科学技术的发展，它完成了其历史使命。美国环境科学委员会，于2001年11月24日正式宣布，由即日起取消并废除洁净室的美国联邦标准《Fed-Sta-209E》，在美国等效使用“ISO14644-1”洁净室等级的国际标准。在以后的文件中，再出现美国联邦标准《Fed-Sta-209E》的等级内容的字样，该文件可视之无效文件，或劣质文件或不合格文件。 我国修订后的“洁净厂房设计规范GB50073-2001”，已经在2002年开始实行，其中，关于洁净室洁净等级，等效采用“ISO14644-1”洁净室等级的国际标准，实现了与国际接轨。 晶硅太阳能电池车间洁净度 制绒 万级（ISO class7） 扩散前清洗、扩散 千级（ISO class6） 刻蚀、去PSG 万级（ISO class7） PECVD 、丝网印刷、烧结、测试分选 十万级（ISO class8） 车间洁净度测试方法：激光粒子计数仪 习题 1. 制作晶硅太阳能电池的主要 步骤有哪些？ 答：制绒，扩散，刻蚀，去磷硅玻璃，镀膜，印刷电极，烧结