白光反射谱测薄膜厚度实验-中国科技论文在线.PDFVIP

中国科技论文在线 白光反射谱测薄膜厚度实验 Measurement of Thickness of the Thin FiIm Using Reflectance Spectrum of the White Light 刘滢滢 柯伟平 董占民 高红 (清华大学，北京市 10o084) Liu Yingying Ke Weiping Dong Zhanmin Gao Hong (Tsinghua University,Beijing 1 00084) 【摘 要】本实验利用白光的反射谱来测薄膜的厚度，利用单色仪测量不同波长光的干涉光强度，把对条纹 的测量转变为对不同波长干涉光强度的测量，既可以手动也可以利用数据采集系统自动采集和处 理数据，使操作和测量更加简洁方便。 【关键词】单色仪 反射谱 干涉光强 Abstract：Thick