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主要内容 3.1 自感式传感器 3.2 差动变压器 3.3 电容传感器 3.4 电涡流式传感器 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 3.3.5 电容传感器测量电路 差动脉冲调宽电路原理图 3.3 电容式传感器 3.3.5 电容传感器测量电路 uAB经低通滤波后,就可得到一直流电压U0为 UA、UB──A点和B点的矩形脉冲的直流分量; ??? T1、T2 ──分别为C1和C2的充电时间; ??? U1──触发器输出的高电位。 3.3 电容式传感器 3.3.5 电容传感器测量电路 C1、C2的充电时间 式中 Ur──触发器的参考电压 设R1=R2=R,则得 结论:输出的直流电压与传感器两电容差值成正比 3.3 电容式传感器 3.3.5 电容传感器测量电路 设电容C1和C2的极间距离和面积分别为d1、d2和S1、S2 差动变极距型 差动变面积型 特性:差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容式传感器 具有理论上的线性特性 3.3 电容式传感器 3.3.1 电容传感器的工作原理 3.3.2 电容传感器的主要性能 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 3.3.4 电容传感器等效电路 3.3.5 电容传感器测量电路 3.3.6 电容传感器的应用 3.3 电容式传感器 3.3 电容式传感器 3.3.6 电容传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 3.3 电容式传感器 3.3.6 电容传感器的应用 (1) 电容式差压传感器 P 2 玻璃盘 镀金层 金属 膜片 C 2 电极引线 p 1 C 1 结构简单、灵敏度高、响应速度快(约100ms),能测微小压差(0~0.75Pa)、真空或微小绝对压力,需把膜片的一侧密封并抽成高真空(10-5Pa)即可 转换电路 3.3 电容式传感器 3.3.6 电容传感器的应用 (2)电容式加速度传感器 当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时,质量块在惯性空间中相对静止,而两个固定电极将相对质量块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移。此位移使两电容的极距发生变化,一个增加,一个减小,从而使C1、C2产生大小相等,符号相反的增量,此增量正比于被测加速度。 两个固定极板与壳体绝缘,中间有一用弹簧片支撑的质量块,此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板。 3.3 电容式传感器 3.3.6 电容传感器的应用 (3)电容式振动位移传感器 3.3 电容式传感器 3.3.1 电容传感器的工作原理(掌握) 3.3.2 电容传感器的主要性能(掌握) 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点(了解) 3.3.4 电容传感器等效电路(理解) 3.3.5 电容传感器测量电路(掌握) 3.3.6 电容传感器的应用(了解) 3.3 电容传感器 3.3 电容式传感器小结 3.3 电容式传感器 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 (2)结构简单,适应性强 电容式传感器结构简单,易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作,适应能力强,尤其可以承受很大的温度变化,在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作,能测超高压和低压差,也能对带磁工件进行测量。 3.3 电容式传感器 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 1、特点 (3)动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小,需要的作用能量极小,又由于它的可动部分可以做得很小很薄,即质量很轻,因此其固有频率很高,动态响应时间短,能在几MHz的频率下工作,特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电,因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数,如测量振动、瞬时压力等。 3.3 电容式传感器 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 静电力的计算 电容C中储存的能量为: 对于平板电容器,使极板移动所需的力F约为 3.3 电容式传感器 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 1、特点 (4)可以实现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采用接触测量的情况下,电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 3.3 电容式传感器 3.3.3 电容传感器的特点和设计要点 缺点: (1) 输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制,一般为几十到几百皮法,使传感器的输出阻抗很高,传感器负载能力差易受外界干扰影响 。 (2) 输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线性的,虽可采用差动结构来改善,但不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略
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