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光激光拾自谐振传感器的光学特性及优化设计.PDF
31 1 Vol. 31 No . 1
2002 1 ACT A PHOTONICA SINICA January 2002
1, 2 1 2
李炳乾 朱长纯 刘君华
( 1 , 710049)
(2 18 , 52 020)
建立了光激、光拾自谐振多晶硅微机械传感器的多层 系模型, 利用该模型对传感器
的光学特性进行了理论分析, 并对传感器谐振微梁厚度和空腔高度进行了优化.
自谐振; 菲涅耳系数矩阵; 光电激励
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, Fig . 1T he schematics of opt ical excited self-resonant
. MEM S sensor
国家自然科学基金( 977 037) 、国家教育部博士点基金(980 9828) 、光电技术及系统教育部重点实验室和西安交
通大学学科建设重点资助项目
收稿日期: 2000-0 -13
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