光学元件表面的数字全息检测-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２４ １ Ｖｏｌ．２４ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２０１２ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２０１２ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２０１２０１００７９０５ 　 光学元件表面的数字全息检测 王瞡， 肖 文， 潘 锋， 寇 鑫， 张 菁， 李建毅 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （北京航空航天大学 仪器科学与光电工程学院，北京 １００１９１） 摘 要： 针对球形光学元件的表面质量检测，开发了一种基于数字全息的表面曲率参数及疵病的同步检 　　 　 　 测方法。利用最小二乘法对再现波前进行参数拟合和计算，解决了再现过程中倾斜因子补偿对测量可靠性造 成的影响。通过将原始数据与生成的虚拟曲面相减实现了表面疵病信息的同步提取。实验证明，该方法的测 量结果与白光干涉仪的测量差异小于 １．５％，在不同倾斜因子补偿系数作用下的测量结果误差小于 １％。 关键词： 数字全息； 光学元件； 最小二乘法； 曲率半径； 表面疵病 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ Ｏ４３８．１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰ００７９ 　　 　 　　　　 　 　　 ［ ］ １３ 光学元件的表面面形质量会严重影响光学系统的光束质量 ，目前应用于光学元件表面质量检测的Ｔｗ 　　 干涉仪、 干涉仪及白光干涉仪等，具有很多共同的缺点，包括对外部干扰较为敏感， ｙｍａｎＧｒｅｅｎ ＭａｃｈＺｅｈｎｄｅｒ 需要连续的相位调制及对被测样品摆放位置和角度的高精度要求等。数字全息技术是在传统全息的基础上发 展而来的。通过 ＣＣＤ等电子图像传感器件的引入，数字全息实现了全息图的数字化记录，并利用电子计算机 进行全数字化的重建，可以通过一幅全息图得到量化的物光复光场信息，即同时获取物光波前的强度和相位分 ［ ］ ４９ 布，进而取得被测物体表面的形貌数据 。近年来，数字全息技术也开始被应用于光学元件的表面质量检测， 主要用于球形表面参数的测量。Ｖ．Ｋ．Ｃｈｈａｎｉｗａｌ采用汇聚光源在不同距离下照明被测透镜表面，进行一系列 ［ ］ １０ 的数字全息记录、再现，得到了透镜表面曲率半径 。然而测量光路的机械运动影响了该方法的测量可靠性 和精度，大量全息图的记录和再现也制约了测量效率的提高。Ｌ．Ｍｉｃｃｉｏ沿一条过被测面再现像中心的直线路