电子工业污染物排放标准 半导体器件.pdfVIP

附件六： ICS Z 中华人民共和国国家标准 GB —200 □□□□□ □ 电子工业污染物排放标准 半导体器件 Discharge standards for electrical industrial pollutants from semiconductor industry （征求意见稿） 200 □- □□- □□发布 200 □- □□- □□实施 环 境 保 护 部 发布 国家质量监督检验检疫总局 GB □□□□□—200 □ 目 次 前 言 II 1 适用范围 3 2 规范性引用文件 3 3 术语和定义 4 4 污染物排放控制要求 5 5 污染物监测要求 9 6 标准实施与监督 11 附录 A（规范性附录）VOCs 废气治理设备运行工艺参数测试要求 12 附录 B（规范性附录）半导体企业记录保存要求 13 附录 C（规范性附录）废气中硫酸雾的测定 15 附录 D（规范性附录）固体吸附-热脱附气相色谱-质谱法 22 附录 E（规范性附录）用采样罐采样气相色谱－质谱法 31 附录 F（规范性附录）大气中丙酮测定方法 气相色谱法 38 I GB □□□□□—200 □ 前 言 为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和国大气污 染防治法》，《国务院关于落实科学发展观 加强环境保护的决定》等法律、法规和《国务院关于编制全 国主体功能区规划的意见》，保护环境，防治污染，加强对电子工业半导体器件生产企业废水、废气排 放的控制和管理，制定本标准。 本标准根据电子工业半导体器件生产工艺及治理技术特点，规定了电子工业半导体器件生产过程中 水和大气污染物的排放限值、监测和监控要求。 为促进地区经济与环境协调发展，推动经济结构的调整和经济增长方式的转变，引导电子工业半导 体器件生产工艺和污染治理技术的发展方向，本标准规定了水污染物特别排放限值。 电子工业半导体器件生产企业排放恶臭污染物、环境噪声适用相应的国家污染物排放标准，产生固 体废物的鉴别、处理和处置适用国家固体废物污染控制标准。 本标准为首次发布。 自本标准实施之日起，电子工业半导体器件生产企业的水和大气污染物排放控制按本标准的规定执 行，不再执行 《污水综合排放标准》（GB 8978-1996 ）和 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996 ）。