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第 卷第 期 功能材料与器件学报 J g75B J I7B 年 月 ’##* * V0UdIR] 0e eUI.?40IR] /R?Ld4R], RIf fLg4.L, /;=6W ’##* 文章编号! ##$ % ’(’ ) ’##* + # % ### % #$ ,04 光电子集成 余金中 严清峰 夏金松 王小龙 王启明 （中国科学院半导体所集成光电子国家重点实验室，北京 ###K* ） 摘要： ) + 光电子集成已成为十分引人注目的研究课题，