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331～334微力学测试仪在MEMS键合强度测-中国科学院.PDFVIP

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  • 2019-07-11 发布于北京
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331～334微力学测试仪在MEMS键合强度测-中国科学院.PDF

    331～334微力学测试仪在MEMS键合强度测-中国科学院.PDF

    维普资讯 规 械 度 2005，27(3)：331～334 微力学测试仪在 MEMS键合强度测试 中的应用 APPLICATIoN oF SUPER一 ⅡCRo TESTER IN IⅡ sl BoNDD G STRENGTH 1EST 郇 勇 张泰华一 杨业敏一 ’ 阮 勇 张大成 (1．中国科学院力学研究所 非线性力学国家重点实验室。北京 100080) (2．北京大学 微 电子学系 MEMS工艺研 究室，北京 100871) (3．中国

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