一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片alow-no资料精.pdfVIP

第 32 卷第 1 期 电 子 与 信 息 学 报 Vol.32No.1 2010 年 1 月 Journal of Electronics Information Technology Jan. 2010 一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片 尹 韬① 杨海钢① 张 翀①② 吴其松①② 焦继伟③ 宓斌玮③ ①(中国科学院电子学研究所 北京 100190) ②(中国科学院研究生院 北京 100039) ③(上海微系统与信息系统研究所 上海 200050) 摘 要：读出电路位于微传感器系统信号通路的最前端，是决定系统性能的关键因素。本文针对音叉式体硅微陀螺 的具体应用，提出了一种低噪声电容读出电路，芯片采用斩波技术降低了电路的低频 1/f 噪声、失调电压以及参考 电压失配的影响，提高了读出电路的分辨率和动态范围；提出一种噪声电荷转移的分析方法，用于分析和预测读出 电路的噪声性能；建立一种简化的微陀螺传感器仿真模型，用于模拟读出电路对微传感器的响应。读出电路在0.35 μm 2P4 M 标准 CMOS 工艺下设计流片，并与微传感器进行了联合应用，芯片面积为 2×2.5 mm2，在 5 V 电源电 压，100 kHz 的时钟频率下，实现了4 aF / Hz 的电容分辨率和 94 dB 的动态范围。 关键词：微陀螺；读出电路；低噪声；斩波 中图分类号：TN431.1 文献标识码：A 文章编号：1009-5896(2010)01-0203-07 DOI: 10.3724/SP.J.1146.2008.01763 A Low-Noise Readout Circuit for Bulk Micro-Machined Capacitive Gyroscope ① ① ①② ①② ③ ③ Yin Tao Yang Hai-gang Zhang Chong Wu Qi-song Jiao Ji-wei Mi Bin-wei ① (Institute of Electronics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China) ② (Graduate School of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) ③ (Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China) Abstract: Readout circuit is a key factor determining the performance of MEMS gyroscope system, being at the forefront of the signal loop. This paper presents a low-noise readout circuit for a bulk micromachined tuning fork gyroscope. Using the chopper technique, the