数值模拟在VB法生长碲锌镉晶体中的应用-激光与红外杂志.pdf

第４４卷　 第１期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４４，Ｎｏ．１ 　 ２０１４年１月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｊａｎｕａｒｙ，２０１４ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１４）０１０００３０５ ·综述与评论 · 数值模拟在ＶＢ法生长碲锌镉晶体中的应用 王　旭 （华北光电技术研究所，北京 １０００１５） 摘　要：数值模拟是晶体生长研究中一种非常有效的辅助分析技术，借助该技术可以模拟晶体 生长过程，分析获得一定的规律或参数，从而指导工艺研究。本文介绍了晶体生长数值模拟的 概念、基本方法，并结合ＶＢ法生长碲锌镉晶体难点，对数值模拟技术在碲锌镉晶体技术研究 中的应用情况进行了归纳总结。 关键词：数值模拟；垂直布里奇曼；碲锌镉 中图分类号：ＴＮ７１３　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１４．０１．００１ ＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｎＣｄＺｎＴｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈ ｂｙｖｅｒｔｉｃａｌＢｒｉｄｇｍａｎｍｅｔｈｏｄ ＷＡＮＧＸｕ （ＮｏｒｔｈＣｈｉｎａＲｅｓｅａｒｃｈＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＥｌｅｃｔｒｏｏｐｔｉｃ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００１５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＮｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｉｓａｎｅｆｆｅｃｔｉｖｅａｕｘｉｌｉａｒｙａｎａｌｙｓｉｓｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｎｔｈｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈｒｅｓｅａｒｃｈＵｓｉｎｇｔｈｉｓ ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ，ｔｈｅｇｒｏｗｔｈｐｒｏｃｅｓｓｃａｎｂｅｓｉｍｕｌａｔｅｄ，ａｎｄｃｅｒｔａｉｎｒｅｇｕｌａｒｉｔｙｏｒｐａｒａｍｅｔｅｒｓｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄ，ｗｈｉｃｈｃａｎｇｕｉｄｅ ｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｒｅｓｅａｒｃｈＴｈｅｃｏｎｃｅｐｔａｎｄｔｈｅｂａｓｉｃａｐｐｒｏａｃｈｏｆｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎｏｆｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈａｒｅｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄＴｈｅ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｉｎｔｈｅｃｒｙｓｔａｌｇｒｏｗｔｈｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓｓｕｍｍａｒｉｚｅｄ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｎｕｍｅｒｉｃａｌｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ；ｖｅｒｔｉｃａｌＢｒｉｄｇｍａｎｍｅｔｈｏｄ；ＣｄＺｎＴｅ １　引　言 容易产生大量的位错； 熔体状态下各元素分压相 ④ 碲锌镉晶体（Ｃｄ ＺｎＴｅ，简称 ＣＺＴ）是一种极 差较为悬殊，晶体生长阶段难以控制晶体化学配比； １－ｘ ｘ 具工程意义和战略意义的功能材料。ＣＺＴ具有禁带 ⑤锌的分凝效应使得碲锌镉晶片锌组分不均匀，引 ［２］ 宽度大、电阻率较高、载流子迁移率和寿命乘积大、 起晶片晶格常数的起伏 。 平均原子数比较高等特点，而且各个性能指标都可 目前常用的碲锌镉生长方法主要有：高压布 ［３］ ［４－６］ 以通过调整Ｚｎ成分来控制和选择等特点，使得它在 里奇曼法（ＨＰＢ） ，垂直布里奇曼法（ＶＢ） ，