硅基异质结太阳电池新进展-上海交通大学凝聚态光谱与光电子物理.pdf

第 39 卷 第 1 期 物 理 学 进 展 Vol.39 No.1 2019 年 02 月 PROGRESS IN PHYSICS Feb. 2019 硅硅硅基基基异异异质质质结结结太太太阳阳阳电电电池池池新新新进进进展展展 ∗ 李正平 ，杨黎飞 ，沈文忠 上海交通大学物理与天文学院，人工结构及量子调控教育部重点实验室，太阳能研究所，上海 协鑫集成科技股份有限公司，苏州 教育部人工微结构协同创新中心，南京 摘摘摘要要要 非晶硅/晶体硅异质结太阳电池(SHJ) 是在晶体硅上沉积非晶硅薄膜，它综合了晶体硅电 池与薄膜电池的优势，具有结构简单、工艺温度低、钝化效果好、开路电压高、温度特性好、双 面发电等优点，是高转换效率硅基太阳电池的热点方向之一。本文首先综述了近几年 SHJ 电池 制造工艺技术的进步，包括臭氧清洗硅片、热丝化学气相沉积技术沉积非晶硅薄膜、透明导电薄 膜沉积方法和材料的改进，以及新型金属化电极技术在 SHJ 电池中的应用所取得的进展。然后 介绍了结合背面结技术、载流子选择性钝化接触技术的硅异质结电池以及薄型硅异质结太阳电池 最新研究情况。进一步分析了与叉指式背接触技术相结合的硅异质结电池、与钙钛矿太阳电池技 术相结合的钙钛矿/硅异质结两端叠层太阳电池的研究现状，指出硅基异质结太阳电池是迈向更 高效率太阳电池的基石。 关关关键键键词词词: 异质结；硅太阳电池；背面结技术；载流子选择性钝化接触技术；叉指式背接触；钙 钛矿/硅异质结两端叠层太阳电池 中中中图图图分分分类类类号号号：：：O472 文文文献献献标标标识识识码码码：：：A 10.13725/ki.pip.2019.01.001 目 录 引言 引言 近年来，太阳能光伏发电科技和应用高速发展， 异质结太阳电池的制造工艺进展 光伏发电已成为最重要的可再生能源之一。到目前为 臭氧清洗 止，光伏产业仍然是建立在硅材料的基础上，晶体硅 应用 太阳电池是当今光伏产业的主流，市场上 90% 以上的 改进 金属化进展 太阳电池是晶体硅太阳电池。晶体硅太阳电池分为单 晶硅电池和多晶硅电池，而按照硅材料的掺杂类型又 异质结太阳电池的新技术进展 背面结硅异质结电池 可分为 p 型电池和n 型电池。提高光电转换效率、降 载流子选择性钝化接触硅异质结电池 低生产成本是光伏产业永恒的主题。由于成本优势和 薄型硅异质结电池 相对较高的效率，当前光伏产业关注的热点是基于 p 更高效率的硅基异质结太阳电池进展 型硅片的钝化发射极及背面电池 (passivated emitter 太阳电池研究进展 and rear cell, PERC) 。但是相对于p 型硅电池，n 型 钙钛矿硅异质结叠层太阳电池研究进展 硅电池的光诱导衰减 (LID) 极低，此外 n 型硅对某些 结语