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第三章 集成电路中的无源元件 信息工程学院 李薇薇 liweiwei@hebut.edu.cn 3.1 集成电阻器 低阻类电阻，如发射区扩散电阻（薄层电阻）RSE≈5Ω/□，埋层电阻（薄层电阻，RS，BL≈20Ω/□）； 高阻类电阻，如基区沟道电阻（薄层电阻RSB1=5~15kΩ/□），外延电阻（薄层电阻，RS，epi≈2kΩ/□）； 高精度电阻，如离子注入电阻（薄层电阻RS1=0.1~20kΩ/□，常用范围为1~4kΩ/□），薄膜电阻（薄层电阻RSF=10~400Ω/□） 3.1.1 基区扩散电阻 3.1.1 基区扩散电阻 基区扩散电阻最小条宽的设计受到三个限制： 由设计规则决定的最小扩散条宽； 由工艺水平和电阻精度决定的最小电阻条宽WR,min； 由流经电阻的最大电流所决定的WR,min。 在设计电阻最小条宽WR,min时，应取三者中最大的一种 。 3.1.1 基区扩散电阻 (1)设计规则决定的最小扩散条宽Wmin 设计规则是从工艺中提取的、为保证一定成品率而规定的一组最小尺寸。 这些规则主要考虑了制版、光刻等工艺可实现的最小线条宽度、最小图形间距、最小可开孔、最小套刻精度等。 所以在设计扩散电阻的最小扩散条宽时，必须符合设计规则。 3.1.1 基区扩散电阻 (2)工艺水平和电阻精度要求所决定的最小电阻条宽WR,min 3.1.1 基区扩散电阻 (3) 流经电阻的最大电