第7章光栅传感器.pptVIP

传感器原理及应用 7.1 光栅基础 1.光栅的结构 光栅是在一块长条型（圆形）光学玻璃（或金属）上均匀刻上许多宽度相等的刻线，形成透光与不透光相间排列的光电器件。 栅线——光栅上的刻线，宽度a 缝隙宽度b 栅距w=a+b（也称光栅常数） 2、分类 按原理和用途：物理光栅和计量光栅 物理光栅：刻线细密,利用光的衍射现象,主要用于光谱分析和光波长等量的测量。 计量光栅：主要利用莫尔现象实现长度、角度、速度、加速度、振动等几何量的测量。 2、分类 按光的走向：透射式（玻璃）和反射式（金属） 透射式光栅：刻划基面采用玻璃材料 反射式光栅：刻划基面采用金属材料 按栅线形式：黑白光栅（幅值光栅）和闪耀光栅（相位光栅） 黑白光栅：利用照相复制工艺加工而成,其栅线与缝隙为黑白相间结构； 相位光栅：横断面呈锯齿状,常用刻划工艺加工而成。 2、分类 按应用类型：长光栅和圆光栅 3.莫尔条纹 1).莫尔条纹的形成及其特征 当指示光栅和主光栅的刻线相交一个微小的夹角θ时, 光源照射光栅尺，由于挡光效应，两块光栅刻线的相交处形成暗带，而在刻线彼此错开处形成亮带。在与光栅线纹大致垂直的方向上, 产生出亮暗相间的条纹, 这些条纹称为“莫尔条纹”。 莫尔条纹演示 2) 莫尔条纹的特征 ①、位移放大作用 ②、运动对应关系 通过莫