第六章压电式传感器 (2).ppt

第6章 压电式传感器 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应，是典型的双向有源传感器。当材料受力作用而变形时, 其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。压电式传感器具有体积小、重量轻、工作频带宽等特点，因此在各种动态力、机械冲击与振动的测量，以及声学、医学、力学、宇航等方面都得到了非常广泛的应用。 第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 6.2 压电元件的常用结构形式 6.3 压电式传感器的等效电路和测量电路 6.4 压电式传感器的结构组成 6.5 压电式传感器的应用 6.1 压电效应及压电材料 6.1.1 压电效应 6.1.2 压电材料 6.1.1 压电效应 ①压电效应 某些电介质，在沿一定方向上受到外力的作用而变形时，其内部会产生极化现象，同时在它的两个表面上生成符号相反的电荷，当外力去掉后，它又会恢复到不带电状态，这种现象称为压电效应。当作用力的方向改变时，电荷的极性也随之而改变。 ②逆压电效应 在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应，或叫做电致伸缩效应。 6.1.1 压电效应 1.石英晶体的压电效应 石英晶体是最常用的压电晶体之一。 其化学成分为SiO2，是单晶体结构。它理想的几何形状为正六面体晶柱，如图所示。实际上两端为晶锥形状。通过上下晶锥顶点的z轴称为光轴，光线沿z轴传播时将无折射，在此方向也不产生压电效应；经过正六面体（两相对）棱线且垂直于光轴的x轴称为电轴；与x轴和z轴同时垂直的y轴称为机械轴，如图所示。通常把沿电轴方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴方向的力作用下产生电荷的压电效应，称为“横向压电效应”。作用力为剪切力时称为“切向压电效应”。 6.1.1 压电效应 从晶体上沿轴线切下的一片平行六面体称为压电晶体切片，如图所示。若晶体切片受到x方向的压力Fx作用，晶片将产生厚度变形，并发生极化现象。在晶体的线性弹性范围内，在x方向所产生的电荷qx与作用力Fx成正比，即 6.1.1 压电效应 压电系数dij有两个下标，即i和j ，其中 i = 1,2,3表示在垂直于x,y,z轴的晶片表面即x,y,z面上产生的电荷。下标j = 1,2,3,4,5,6，其中j = 1,2,3分别表示晶体沿x,y,z轴方向承受的正应力，j = 4,5,6则分别表示晶体在x,y,z面上承受的剪切应力。 6.1.1 压电效应 从式（6.1）中可以看出切片上产生的电荷多少与切片的尺寸无关，即qx与Fx成正比。电荷qx的符号由晶体受压还是受拉而决定，如图 (a)、(b)。 如果在同一切片上作用的压力是沿着机械轴y方向的，其电荷仍在与x轴垂直的平面上出现而极性方向相反，如图 (c)、(d)。此时电荷的大小为（推导见后） 6.1.1 压电效应 推广到一般情况，即石英晶片在任意的多方向的力同时作用下的全压电效应，可由下列压电方程表示： 6.1.1 压电效应 写成矩阵形式： 6.1.1 压电效应 压电方程是压电传感器原理、设计和应用技术的理论基础。 压电方程是对压电元件全压电效应的数学描述。它反映了压电介质的力学行为与电学行为之间的相互作用（即机-电转换）的规律。为简明起见，所进行的分析基于如下的前提：在讨论正压电效应（即压电效应）时，暂不考虑外界附加电场的作用；在讨论逆压电效应时，暂不考虑外界附加力场的作用；忽略磁场和温度场的影响。 6.1.1 压电效应 由于对称性，石英晶体的压电常数矩阵表示为： 6.1.1 压电效应 当沿轴向切割的石英晶片自由地处在一定方向外电场e的作用下时，会导致晶体内产生应力，从而使晶片产生某方向的应变e。由实验可得其逆压电方程为 6.1.1 压电效应 结论： (1)压电晶体的正压电效应和逆压电效应是对应存在的，哪个方向上有正压电效应，则在此方向上必定存在逆压电效应．而且力-电之间呈线性关系。 (2)石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应。 6.1.1 压电效应 石英晶体的压电效应与其内部分子结构有关。如图所示是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-，在垂直于z轴的平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 6.1.1 压电效应 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的顶角上，每两个相对顶点上的电荷形成一个电偶极矩，共形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。如图(a)所示。这三个电偶极矩的矢量和为零。电偶极矩的大小为：