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- 2019-06-14 发布于四川
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- | 2006-07-18 颁布
- | 2006-11-01 实施
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ICS 77. 040. 01
H 17
中华人民共和国国家标准
GB/T 11068—2006
代替 GB/T 11068— 1989
碑化镌外延层载流子浓度
电容■电压测量方
Gallium arsenide epitaxial layer —Determination of carrier
concentration voltage-capacitance method
2006-07-18 发布 2006-1 1-01 实施
发布
GB/T 1 1068—2006
■ / ■ ■
刖 a
本标准是对GB/T 11068— 1989«神化稼外延层载流子浓度电容-电压测量方 》的修订 。本标准在
原标准基础上,参考DIN 50439 《电容-电压法和汞探针测定半导体单晶材料掺杂剂的浓度剖面分布》编
制的。
本标准与原标准相比主要变动如下:
——原标准规定,在制作高阻衬底样品的欧姆电极时 ,要在氮气保护及400°C下合金化5 min,而经
验表明,在350°C〜450°C的温度下合金化,都可得到好的欧姆接触电极,故将此项要求改为在
350°C〜400C及氮气保护下,合金化5 min 〜10 min;
-取消了原标准对环境的要求,因为在通常的实验室条件下,所用仪器和测试方法本身对环境温
度和湿度并不十分敏感,特别是成套仪器 。但由于载流子浓度与温度有关 ,故应在测量报告中
标明测量时的环境温度;
——简化了原标准关于电容仪校准的文字表述。
本标准自实施之日起代替GB/T 11068— 1989O
本标准由中国有色金属丁业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。
本标准起草单位:北京有色金属研究总院。
本标准主要起草人:王彤涵。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
——GB/T 11068— 19890
T
GB/T 1 1068—2006
碑化掾外延层载流子浓度
电容■电压测量方
1范围
本标准规定了神化傢外延层载流子浓度电容-电压测量方 ,适用于神化傢外延层基体材料中载流
子浓度的测量 。测量范围: 1X1O14 cm^〜5X1O17 cm 3 o
2术语和定义
下列术语和定义适用于本标准。
2. 1
击穿电压 breakdown voltage
当反向偏压增加到某一值时,肖特基结就失去阻扌肖作用,反向电流迅速增大时的电压值。
2.2
接触面积 contact area
汞探针与试样表面的有效接触面积。
2.3
势垒电容 barrier capacitance
半导体内垂直于接触面的空间电荷区的电容。
2.4
势垒宽度 barrier width
起势垒作用的空间电荷区的线性宽度。
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