第二讲--薄膜材料物理--第一章薄膜形成.pptVIP

成核速率∝临界核密度×每个核的捕获范围×吸附 原子向临界核的总速度 ※由统计理论，临界核密度: 两种成核理论的对比： 微滴理论（毛细作用理论）—热力学—凝结论，适用于描述大的临界核，可用热力学参数. 原子理论—统计物理学—原子成核与生长模型，适用于描述小的临界核. §1.4 凝结系数 凝结：吸附原子结合成对及其以后的过程. 凝结系数： §1.5 薄膜的形成 薄膜的形成顺序： ①小岛阶段—成核和核长大 透射电镜观察：大小一致(2-3nm)的核突 然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向 的第三维。 说明：核生长以吸附单体在基片表面的扩散， 不是由于气相原子的直接接触。 §1.6 薄膜的结构 组织结构 晶体结构—薄膜中微晶的晶型 1.6.1 组织结构 ※无定形结构—无序结构，近程有序， 远程无序。 类无定形结构—极其微小的(2nm)晶粒且无规则排列。高熔点金属薄膜、高熔点非金属化合物薄膜、碳硅锗的某些化合物薄膜，以及两不相容材料的共沉薄膜。 ※多晶结构—无规取向的微晶组成，晶粒10-100nm 低熔点金属薄膜。 1.6.2 晶体结构 大多数情况下，薄膜中微晶的晶体结构与块材的相同，只是晶粒取向和晶粒尺寸可能不同于块材。 晶格不匹配：薄膜材料的晶格常数与基片的不匹配。 薄膜中有较大的内应力和表面张力。 在界面处，晶格发生畸变，以便于与基片相配合。 1.6.3 表面结构 薄膜应保持尽可能小的表面积（→理想平面） →使总能量最低。实际上，由于入射原子的无规性→薄膜表面有一定粗糙度。 入射原子冲击基片后，在其表面做扩散运动 →表面迁移，这在某种程度上，薄膜表面的谷或峰 削平，表面积减小，表面能降低。同时，低能晶 面（低指数面）有力发展，从而各晶面发展不一 →导致薄膜表面的粗糙度增大（高温常有） §1.7 薄膜中的缺陷 薄膜初始阶段，很小的小岛是完美的单晶。 小岛长大→彼此接触→晶界、晶格缺陷→进入薄膜中 单晶薄膜缺陷：缺陷堆、孪晶界 多晶薄膜缺陷：晶界面积多 1.7.2 小缺陷 小缺陷：在淀积薄膜中常观察到的位错环、堆缺陷、四面体和三角缺陷。位错环长10-30nm，环密度约1020/m2 蒸发薄膜中，可形成大量空位，因为： ①一个入射原子进入薄膜晶格时的等效温度比基片温度高得多； ②金属薄膜迅速凝结而成，淀积的原子层还未能与基片达到热平衡，即被新层所覆盖→许多空位陷入膜中。 用电镜可以观察膜中的点缺陷。 未溶解的位错环、空位聚集体、杂质原子聚集体，T↑→点缺陷的移动能力大→空位和间隙原子移到膜表面失T↓→点缺陷的移动能力小→点缺陷聚集而成的疵点。 大学课件出品 版权归原作者所有 联系QQ ：910670854 如侵权，请告知，吾即删 更多精品文档请访问我的个人主页 /611696569 附赠人生心语 人生太短，聪明太晚 人生太短，聪明太晚(1) 我们都老得太快?却聪明得太迟 把钱省下来，等待退休后再去享受 结果退休后，因为年纪大，身体差，行动不方便，哪里也去不成。钱存下来等养老，结果孩子长大了，要出国留学，要创业做生意，要花钱娶老婆，自己的退休金都被拗走了。 人生太短，聪明太晚(2) 当自己有足够的能力善待自己时，就立刻去做，老年人有时候是无法做中年人或是青少年人可以做的事，年纪和健康就是一大因素。小孩子从小就告诉他，养你到高中，大学以后就要自立更生，要留学，创业，娶老婆，自己想办法，自己要留多一点钱，不要为了小孩子而活我们都老得太快却聪明得太迟，我的学长去年丧妻。这突如其来的事故，实在叫人难以接受，但是死亡的到来不总是如此。学长说他太太最希望他能送鲜花给他，但是他觉得太浪费，总推说等到下次再买，结果却是在她死后，用鲜花布置她的灵堂。这不是太蠢愚了吗？！ 等到......、等到.....，似乎我们所有的生命，都用在等待。 人生太短，聪明太晚(3) 「等到我大学毕业以后，我就会如何如何」我们对自己说 「等到我买房子以后！」 「等我最小的孩子结婚之后！」 「等我把这笔生意谈成之后！」 「等到我死了以后」 人人都很愿意牺牲当下，去换取未知的等待；牺牲今生今世的辛苦钱，去购买后世的安逸 在台湾只要往有山的道路上走一走，就随处都可看到「农舍」变「精舍」，山坡地变灵塔，无非也是为了等到死后，能图个保障，不必再受苦。许多人认为必须等到