一个简单的波面像差计测方法.PDF

一个简单的波面像差计测方法 向 才 新 , 、 , 摘要 运用波面像差理论 并根据旋转 反转剪切 涉仪的基本原则 用手 工法 测 涉仪之类 涉图的 波 差 。 此方 不 烦 的 计 型 各种 面像 值 法 须 琐的 计 , 适用于任 、 高 差和 类 心系 。 算 且 何初 级像 某 偏 统 、 口 口 一 前峨 定 测 的 , 涉 波 差 , 很重 的, 至今 确 被 系统 各种像差值 对 法测定 面像 来说 也是 要 但 仍未 完全满意的解决。 、 ‘ 、 〕 。 〔 ’ 〔 代 用 二 法 的 年 采 最小 乘 解初级波差方程组 办 , — 。 、 , ‘〕 。 显然 用 工业 这 的 尸 ’ 和 用 法 手 进行 种运算是非常麻烦而费时 少 、 、 。 、 仪 了 一 同 的 和色差 , “ 夕川 “ 和 涉 测定 单 而非 时存在 球差 像散 畸变 年代 ’、