磁滞与摩擦力考虑的奈米定位.doc

磁滯與摩擦力考慮的奈米定位 文／馮榮豐、楊竣翔、韓長富 摘要 基於壓電致動器的使用，使精密定位的能力可從微米級降至奈米級，在如此精密的尺寸下，磁滯現象與摩擦力的非線性行為，對於系統的影響不可輕視。本文主要討論，具奈米定位能力的衝擊力驅動機構(IDM)，當考慮磁滯與摩擦力的行為時，對於定位精度造成的影響。 一、 前言 奈米定位技術被視為支援奈米技術的重要關鍵技術，而一般傳統伺服機構，很難達到如此高精密的定位精度。幸賴諸如壓電材料、磁應變、形狀記憶合金等新興材料的出現，以及量測技術的不斷更新，操控微、奈米尺度的技術在一般較高階的機械裝置上已漸臻成熟。作者(馮)於2002年三月與十月分別出版奈微米工程精密製程與量測技術及奈米工程技術專書共兩冊，其中對奈米科技的最新發展趨勢及相關文獻資料，做了豐富的收集與討論。目前已知有利用壓電元件於定位平台，以使用在光纖接續過程之對準。因此吾人可得知壓電致動器在精密定位上，對於精密零組件之組裝、光纖接續之對準、半導體製程等精密工業均有極大之助益。 近幾年由於精密工業（如光電、半導體、通信產業）的蓬勃發展，帶動相關精密定位技術的技術升級。其中，在關鍵性的驅動元件上，壓電元件因具有微小位移的可控制性、機械與電氣間高效率的轉換特性、高頻響應特性、低消耗功率、不易發熱、不會產生電磁信號之干擾、響應速度快速、體積小與重量輕等優點，使其廣泛地被應用在精密平台的定位上