GB/T 31226-2014扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法.pdf

ICS 17. 040.20 J 04 百目 中华人民共和 国 国彖标准 GB/T 31226—2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件 表面粗糙度的方法 Standard test method for determination of surface roughness by scanning tunneling microscopy for gas distribution system components 2014-09-30 发布 2015-04-15 实施 GB/T 31226—2014 ■ i r ■ ■ i 刖 吕 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由中国科学院提出。 本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC 279)归口。 本标准起草单位：上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。 本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。 T GB/T 31226—2014 引 言 半导体净化室需要高纯气体配送系统的保障，本标准提供了一种用于此气体配送系统中一种或多 种部件的表面粗糙度评价方法 。STM是一种非接触的表面轮廓测试方法，能够在纳米尺度范围内测试 样品的三维表面形貌，并能够表征表面结构和提供其评定参数 。这种表面结构作为一种依据的测试方 法的应用，期望能得到不同部件表面粗糙度的比较数据 ，以得到高质量的气体体系净化配件。 定向刻蚀或导体涂层可以改善气体在表面的润湿性，本标准没有涉及 。本标准假设STM操作人 员已经掌握了仪器的原理、操作和假象。 本标准定义了一种标准数据表示格式，并提出了用STM得到的数据来分析三维表面结构的评定 参数。 n GB/T 31226—2014 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件 表面粗糙度的方法 1范围 本标准规定了一种使用扫描隧道显微镜(STM)来分析气体配送系统部件表面粗糙度的方法。 本标准适用于测定Ra小于0.25 的不锈钢表面粗糙度的表征。 本标准不适用于不能产生隧道效应的厚氧化层钢铁。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 ASTM E 691测定试验方法精密性进行实验室间研究的标准实施规范(Practice for Conducting an Interlaboratory Study t Determine the Precision of a Test Method) ANSI B 46.1： 1985 表面结构(表面粗糙度、波纹度和扭转度)[Surface Texture (Surface Rough­ ness .Waviness,and Lay)] 3术语和定义、符号和缩略语 3.1术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1.1 假象 artifact 非真实的表面形貌，包括震动，电子噪音,热