GB/T 33929-2017MEMS高g值加速度传感器性能试验方法.pdf

ICS 31.200 「 十 、 55 OB 中华人民共和国国家标准 GB/T 33929—2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验 方法 Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer 2017-07-12 发布 2018-02-01 实施 发布 GB/T 33929—2017 ■ 11 —1— a 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口。 本标准起草单位：中北大学、中机生产力促进中心。 本标准主要起草人:石云波、程红兵、唐军、李海斌、马宗敏、朱悦。 I GB/T 33929—2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验 方法 1范围 本标准规定了 MEMS高g值加速度传感器的电气性能和基本性能的术语和定义、试验条件、试验 的一般规定、试验项目及方法。 本标准适用于量程在1X1OR 〜2X10/范围的MEMS高g值加速度传感器 （以下简称加速度传 感器）性能试验。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 2421.1电工电子产品环境试验概述和指南 GB/T 7665传感器通用术语 GB/T 26111 微机电系统 （MEMS）技术术语 JJF 1156振动冲击转速计量术语及定义 3术语和定义 GB/T 7665,GB/T 26111和JJF 1156界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 霍普金森杆 Hopkinson rod 采用弹性波在细长杆中传播而产生冲击运动的冲击装置。 4试验条件 4.1环境条件 4.1.1标准大气条件 除非详细规范另有规定,所有试验应在GB/T 2421.1所规定的试验用标准大气条件下进行。 4.1.2 电磁条件 除产品技术条件另有规定,试验场地除地磁场外，应无其他外界电磁场。 4.1.3振动条件 除产品技术条件另有规定，试验场地测试台应无机械振动。 1 GB/T 33929—2017 4.2测试系统 4.2.1绝对校准测试系统 绝对校准测试系统主要由霍普金森杆、激光干涉仪、数据采集装置等组成。 a） 冲击加速度幅值：1X 104g〜2 X 10学； b） 冲击加速度脉冲宽度：2X10-“ 〜1X1O-5 ； c） 激光干涉仪最大测速：不小于100 m/ ； d） 速度测量不确定度：不大于3% ； e） 用于激