用射线在线测试薄膜厚度的计算机测量系统.pdfVIP

16 2 Vol. 16 o. 2 1999 6 Journal of Guangdong University of Technology June 1999 1 1 2 3 许立梓 ,李传芳 ,林文豪, 郑锐生 ( 1. , 510090; 2., 515000;3. , 515065) :. : ; ; : TP273 : A : 1007-7162 ( 1999) 02-0005-04 , , , , , , , , , , . 1 1, IPC- 586 . , ; , (2m) , . , , , , ( ) , , . : ( 1) a. (m) ; b. ( ) ; c. () (mm) ; d. ( ) ;