GB/T 34898-2017微机电系统(MEMS)技术　MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法.pdf

ICS 31.200 ____ 55 e 中华人民共和国国家标准 GB/T 34898—2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性 振动测试方 Micro electromechanical system technology —Test method for the nonlinear vibration of the MEMS resonant sensitive element 2017-11-01 发布 2018-05-01 实施 发布 GB/T 34898—2017 目 次 冃 IJ B I 1范围 1 2规范性引用文件1 3术语和定义 1 4敏感元件非线性振动测试特性参数 1 5 测试方法及其选用原则 2 5.1光学测试 2 5.2电学测试 2 6敏感元件非线性振动幅频响应和相频响应测试方 2 6.1光学测试方 2 6.2电学测试方 3 7敏感元件非线性振动频率响应弯曲系数测试方 4 8敏感元件非线性跳跃振幅阈值测试方 5 9非线性振动引起的敏感元件频率偏移测试方 5 9.1自激闭环系统、锁相闭环系统和锁幅闭环系统的频率偏移5 9.2间歇激励闭环系统的频率偏移5 附录A （规范性附录 ）敏感元件非线性振动数学模型和弯曲系数 6 附录E （规范性附录 ）敏感元件频率响应非线性跳跃 9 附录C （规范性附录 ）非线性振动引起的敏感元件的频率偏移 10 GB/T 34898—2017 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)提出并归口。 本标准起草单位:北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。 本标准主要起草人:李庆丰、金小锋、李海斌、朱悦、程红兵。 I GB/T 34898—2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性 振动测试方 1范围 本标准规定了谐振式传感器中MEMS谐振敏感元件(以下简称敏感元件)非线性振动特性参数的 测试方 。 本标准适用于敏感元件在研制和生产过程中关于非线性振动特性和敏感元件闭环系统频率偏移的 测试,其他非MEMS敏感元件可参考使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2298机械振动与冲击术语 GB/T 26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB/T 26112微机电系统(MEMS)技术微机械量评定总则 3术语和定义