斩射线衍射光学部件的制备及其光学性能表征-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棻 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棻 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棻 暋 暋 暋暋斘旓旜棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棻棻灢棽椃椃椆灢棻椃 斬射线衍射光学部件的制备及其光学性能表征 陈宜方灣 棬 棳 棭 复旦大学信息科学与工程学院专项集成线路与系统国家重点实验室 上海 棽棸棸棿棾棾 椇 暎 摘要 综述了国内外在纳米加工 射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展 介绍了作者团队过去三年在这方面 斬 暎 棳 椈 棳 做的工作 针对衍射透镜关键技术 研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺 结合金电镀 提出了纳米尺度波 棳 棬 棭 暎 带片的制造技术 并将该工艺成功扩展于分辨率板 斢旈斿旐斿旑旙旙旚斸旘和集成光栅型会聚透镜的研制 运用蒙特卡罗模拟和 棳 椈 显影动力学 探索了电子束光刻技术所能够实现的最大高宽比以及造成这种限制的物理根源 成功研制了 椀棸暙棻棸棸旑旐 棬 棳 棭暍 棬 棳 的波带片透镜 其中 棻棸棸旑旐波带片高宽比为 棻椂暶棻 椀棸暙棾棸棸旑旐的分辨率测试板 其中 棾棸棸旑旐测试板高宽比为 棭 棬 棭暎 暎 棳 和 的会聚透镜 高宽比为 对所研制的光学部件在同步辐射光源进行了实验表征 结果表明 棻棸暶棻 棽棸棸旑旐 棻棸暶棻 棻棸棸 棳 椈 旑旐波带片聚焦斑尺寸为 棽棾棿旑旐 测试板和会聚透镜的光学特性与国外同样光学部件到达同等水平 会聚透镜辐照的均 暎 棳 棳 匀性为 最后 总结了近几年我国 射线衍射透镜的发展进度 指出了衍射光学部件光学性能发展的最大瓶颈是 椆椆棩 斬 棳 棳 分辨率与衍射效率相互制约 提出了提高光学部件衍射效率的具体途径 给出了我国 射线衍射透镜技术的未来发展 斬 路线图暎 关 键 词椇 椈 椈 椈 椈 椈 椈 暋 暋 斬射线衍射光学部件 波带片 电子束光刻 纳米加工 会聚透镜 分辨率板 同步辐射光源 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斘