半导体元件物理.ppt

SEMICONDUCTOR PHYSICS DEVICES 參考書籍： S.M.Sze (施敏) ………………教科書 SEMICONDUCTOR DEVICES Physics and Technology 2nd Edition Donald A. Neamen SEMICONDUCTOR PHYSICS DEVICES BASIC PRINCIPLES 2nd Edition Hong Xiao Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology 莊達人編著 VLSI製造技術 （五版修訂） 評分標準 期中考，期末考各佔 30% 作業：20％ 報告：20％ 課程大綱 第一章 簡介 第二章 熱平衡時的能帶及載子濃度 第三章 載子傳輸現象 第四章 正 – 負接面 第六章 金氧半場效電晶體及其相關元件 第七章 金半場效電晶體及其相關元件 第十章 晶體成長及磊晶 第十一章 薄膜形成 第十二章 微影與蝕刻 第十三章 雜質摻雜 第十四章 積體元件 Chap1 Introduction 1.1 Semiconductor Devices(半導體元件） 元件的基礎結構 金屬半導體界面-整流型接觸、歐姆接觸（最早，1874年） 應用： MESFET(金屬半導體電晶體)