TMR单芯片微弱电流传感器研制.docxVIP

TMR单芯片微弱电流传感器的研制* 王峥1，郭海平3，庞振江1，徐绥召3，王海宝2 （1. 北京智芯微电子科技有限公司 国家电网公司重点实验室电力芯片设计分析实验室，北京 100192；2. 北京智芯微电子科技有限公司 北京市电力高可靠性集成电路设计工程技术研究中心，北京 100192；3.江苏多维科技有限公司，江苏 张家港 215634） 摘要：针对微弱电流的检测，提出了一种单芯片微弱电流传感器，其原理是：利用隧道磁电阻（TMR）元件作为磁场敏感元件，并将电流导体和TMR元件进行集成，以减小电流导体与磁场敏感元件的间距，提高电流测量的分辨率。结合MEMS工艺，通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构，研制出了电流分辨率达到20 μA的微弱电流传感器，为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案。 关键词：TMR元件；高分辨率；微弱电流检测；MEMS 中图分类号：TM933 文献标识码：B 文章编号：1001-1390(2018)00-0000-00 Study and manufacture of TMR single chip weak current sensor Wang Zheng1, Guo Haiping3, Pang Zhenjiang1, Xu Suizhao3, Wang Haibao2 (1. State Grid Key Laboratory of Power Industrial Chip Design and Analysis Technology, Beijing Smart-Chip Microelectronics Technology Co., Ltd., Beijing 100192, China. 2.Beijing Engineering Research Center of High-reliability IC with Power Industrial Grade, Beijing Smart-Chip Microelectronics Technology Co., Ltd., Beijing 100192, China. 3.MultiDimension3. Jiangsu Multi-dimension Technology Co., Ltd. ., Zhangjiagang215634, Jiangsu 215634, China) Abstract: In this research, we obtained a single chip sensor for weak current measurementdetection. The working principle of this sensor is utilizing the TMR device as magnetic field sensing unit, and integrating current conductors with TMR element to reduce the distance between the current conductors and magnetic field sensitive TMR device, and so astherefore, to improve the resolution in current measurementdetection. We fabricated a weak current sensor with the resolution of 20 μA using MEMS process by optimizing the structure of both TMR device as well as current conductors. This current sensor offers a promising and economic solution for weak current measurementdetection. Keywords: TMR element，, high resolution，, weak current detectingdetection，, MEMS 0　引 言 随着人们生活水平的提高，电力、电子设备的使用也越来越广泛。为了保证设备的正常运行，需要对其工作状态进行监控，其中漏电流是需要进行监控的重要参数，这就需要开发出相应的弱电流传感器或者弱电流检测系统。 工业和信息化部项目（0714-EMTC02-5378/4）目前，霍尔元件已经被大量地应用于电流检测领域，其特点是结构简单，响应速度快，且能够检测直流的电流[1]。但由于霍尔