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第八章　薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 X射线与物质相互作用时，物质吸收了X射线的能量并使 原子中内层电子脱离原子成为自由电子，即X光电子，如 图1－1 薄膜的表征方法 对于固体样品，X射线能量用于： 薄膜的表征方法 当样品置于仪器中的样品架上时，样品与仪器样品架材料 之间将产生接触电势差?A- ?s (?A ：分析器材料层逸出功) 薄膜的表征方法 各种原子、分子轨道的电子结合能是一定的，据此可鉴别各 种原子和分子，即可进行定性分析 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 薄膜的表征方法 1981年，Bining和Rohrer发明扫描隧道显微镜（Scanning Tunnelling Microscope－STM），198