百瓦级半导体激光器模块的风冷散热系统分析-发光学报.pdfVIP

第３３卷　第２期 发　光　学　报 Ｖｏｌ３３ Ｎｏ２ ２０１２年２月 ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ Ｆｅｂ．，２０１２ 文章编号：１０００７０３２（２０１２）０２０１８７０５ 百瓦级半导体激光器模块的风冷散热系统分析 １，２ １ １ １ １ １，２ １ 张志军 ，刘　云 ，付喜宏 ，张金龙 ，单肖楠 ，朱洪波 ，王立军 （１．发光学及应用国家重点实验室 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春　１３００３３； ２．中国科学院研究生院，北京　１０００３９） 摘要：对百瓦级半导体激光器风冷散热系统进行分析，利用ＡＮＳＹＳ有限元分析软件对高功率半导体激光模 块器件的温度场分布进行了模拟和优化设计。为百瓦级大功率半导体激光模块风冷系统工艺方案的选择提 供了依据，并据此进行了实验验证。 关　键　词：高功率半导体激光器；热特性；ＡＮＳＹＳ；温度分布 中图分类号：ＴＮ２４８．４　　　文献标识码：Ａ　　　ＤＯＩ：１０．３７８８／ｆｇｘ０１８７ ＡｎａｌｙｓｉｓｏｆＡｉｒｃｏｏｌｅｄＨｅａｔＳｙｓｔｅｍｉｎＨｕｎｄｒｅｄｗａｔｔ ＬｅｖｅｌＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＬａｓｅｒＭｏｄｕｌｅ １，２ １ １ １ ＺＨＡＮＧＺｈｉｊｕｎ ，ＬＩＵＹｕｎ ，ＦＵＸｉｈｏｎｇ，ＺＨＡＮＧＪｉｎｌｏｎｇ， １ １，２ １ ＳＨＡＮＸｉａｏｎａｎ，ＺＨＵＨｏｎｇｂｏ ，ＷＡＮＧＬｉｊｕｎ （１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅａｎｄＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ， ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＧｒａｄｕａｔｅＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００３９，Ｃｈｉｎａ） ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｈｘ５２５２＠ｓｏｈｕ．ｃｏｍ Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＡｈｕｎｄｒｅｄｗａｔｔｌｅｖｅｌｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒａｉｒｃｏｏｌｉｎｇｓｙｓｔｅｍｗａｓａｎａｌｙｚｅｄｂｙＡＮＳＹＳ ｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓｓｏｆｔｗａｒｅ．Ｔｈｅｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎａｎｄａｉｒｃｏｏｌｉｎｇｓｙｓｔｅｍｏｆｔｈｉｓｈｉｇｈ ｐｏｗｅｒｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒｍｏｄｕｌｅｗｅｒｅｓｉｍｕｌａｔｅｄａｎｄｏｐｔｉｍｉｚｅｄ．Ｉｔｐｒｏｖｉｄｅｓｔｈｅｂａｓｉｓｏｆｔｈｅｃｈｏｉｃｅ ｐｒｏｇｒａｍｆｏｒ１００Ｗｃｌａｓｓｈｉｇｈｐｏｗｅｒｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒｍｏｄｕｌｅａｉｒｃｏｏｌｉｎｇｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ａｎｄｔｈｅ ｒｅｌａｔｉｖｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｈａｓｂｅｅｎｖｅｒｉｆｉｅｄ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｈｉｇｈｐｏｗｅｒｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｌａｓｅｒ；ｔｈｅｒｍａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃ；ＡＮＳＹＳ；ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ 器的电光转换效率为４０％～５０％，有５