利用ACQUITYUPC2应对半导体行业先进光刻材料光刻胶.pdfVIP

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2019-08-04 发布于天津
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利用ACQUITYUPC2应对半导体行业先进光刻材料光刻胶.pdf

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技术简介利用应对半导体行业先进光刻材料光刻胶开发与供应所面临的挑战目的提供对配方产品的直接准确和快速的分析利用超高效合相色谱检测器以最少的样品制备对平板印刷色谱柱管理器品进行快速而直接的色谱分析合相管理器背景样品管理器固定环光刻材料比如光刻胶和防反射涂层是专门为电子业生产的配方型特种涂层在高反射率衬底上处理时这两种涂层经常结合使用以尽量减少刻痕并控制线宽二元溶剂管理器从而改善图案转移染色光刻胶则是将防反射涂层与光刻胶进行有机结合的统一体该系列中的许多产品都采用芳香偶氮染料图系统如苏丹红系列由于染

[ 技术简介] 2 利用ACQUITY UPC 应对半导体行业先进光刻材料 (光刻胶)开发与供应所面临的挑战目的提供对配方产品的直接、准确和快速的分析。利用超高效合相色谱(ACQUITY ACQUIT Y UP C 2 PDA 检测器 UltraPerformance Convergence Chromatography™ UPC2™)，以最少的样品制备对平板印刷