Essential Macleod 光学薄膜软件简要使用说明.ppt

减反膜 减反膜 减反膜 减反膜 减反膜 Stack Stack Stack Stack 黑色：背面加了减反射膜 红色：背面没有加减反射膜 n，k值计算 极值输入法 FileNew Optical Constant 打开窗口 极值输入法 输入相应的数据(如表) 极值输入法 n，k值列表 n，k值曲线 2层减反膜设计（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]@550nm 2层减反膜设计（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]@550nm 2层减反膜导纳图（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]@550nm 2层减反膜反射率曲线图（非规整） [Air/1.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]@550nm 宽带减反膜 400—700nm 波长范围内减反射 初始膜系为[Air/L(SiO2)2H(TiO2）0.32L(SiO2)0.26H(TiO2)/Glass]@550nm 宽带减反膜 宽带减反膜 导纳图 优化与综合 优化方式有： 目标设定 单纯形法 最佳寻优法 模拟退火法 共轭剃度法 牛顿叠代法 针法 目标参数 目标参数设定 选用单纯形法优化厚度 优化前后的反射率曲线对比 黑色：优化前的反射率曲线 红色：优化后的反射率曲线 截止滤光片（长波通） 长波通滤光片 简单的要求： 50%透过率点的波长是600nm 大于850nm具有高的透过率和低的波纹 没有短波边带 材料用TiO2和SiO2 长波通滤光片 1. 打开新的设计文档 2. 在编辑栏中选用公式编辑来创建长波通的结构（0.5HL0.5H）?16 长波通滤光片 改变设计波长为550nm 长波通滤光片 X轴的波长范围为400nm—1000nm Y轴显示透过率 长波通滤光片 在曲线图上按住ALT+鼠标左键出现十字线，移动鼠标就可以显示曲线上十字对应点的坐标值 长波通滤光片 长波通滤光片 长波通滤光片 点击Lock All，锁定所有的膜层 长波通滤光片 解除连接空气的6层及连接基底介质的6层的锁定 长波通滤光片 选择共轭叠代法进行优化 长波通滤光片 优化结束 长波通滤光片 黑色：优化前的透射率曲线 红色：优化后的透射率曲线 长波通滤光片 取消所有的锁定，Link所有的膜层 长波通滤光片 设定目标600nm处的透过率为50% 长波通滤光片 长波通滤光片 长波通滤光片 自动设计600nm—900nm减反膜 参数图 导纳分析工具 导纳图 例子 高反膜 减反膜 截止滤光片（长波通） 高反射膜 Air/(HL)^s H/Glass Air/(HL)^s H/Glass H：TiO2，L：SiO2，λ0 ： 1000nm，S=1 设计（S=1） 波长改为1000nm 保存设计 编辑参数 X轴参数： 波长 Y轴参数： 反射率 反射曲线（S=1） 导纳参数 导纳图表 Air/(HL)^s H/Glass Air/(HL)^s H/Glass H：TiO2，L：SiO2，λ0 ： 1000nm，S=3 设计（S=3） 在同一图上显示（S=1，3） 显示反射曲线图后，点击曲线图标题栏上的文件（File），点击添加线条（add line），选取要显示的曲线文件后点击打开，线条就在同一图上显示 在同一图上显示（S=1，3，7） 黑色：s=1 红色：s=3 兰色：s=7 导纳图（S=7） 反射位相（S=7） 反射系数（S=7） 电场（S=7） 活动图表（S=7，波长改变） 活动图表（S=7，波长和角度改变） 点击、、《、》可以改变参数 改变入射角（S=7，45度入射） 倾斜入射角 注意： 偏振和入射角 偏振图（S=7） 兰色：S偏振 绿色：平均 红色：P偏振 减反膜 1层减反膜设计 [Air/L(SiO2)/Glass]@550nm 1层减反膜导纳图 1层减反膜反射率曲线 虚线是玻璃的反射率 实线是单层减反膜反射率曲线 2层减反膜设计 [Air/L(SiO2)M(Y2O3)/Glass]@550nm 2层减反膜导纳图 2层减反膜反射曲线图 兰色：玻璃的反射率曲线 红色：1层减反膜的反射率曲线 黑色： 2层减反膜的反射率曲线 Essential Macleod光学薄膜设计与分析软件简要使用说明 系统需要 完全与Microsoft? Windows? 操作系统兼容， Pentium 处理器 建议硬盘空间： 20-25M