薄膜制程及薄膜厚度监控方法.pptVIP

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2019-07-22 发布于福建
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薄膜制程及薄膜厚度监控方法.ppt

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薄膜製程及薄膜厚度監控方法 ;Outline;光學薄膜;理想薄膜之條件;鍍膜製程;平均自由動徑（mean free path）: 定義為一個氣體粒子在碰撞其他粒子前所走的平均距離。;各種壓力範圍之平均自由動徑;製程參數對薄膜性質之影響;鍍膜設備對製程的影響 ;;製程參數變化對光學性質之影響 ;應用範圍;AR Filter ?AR=Anti-Reflection可提高穿透率，降低反射率;Application: Camera Cover Glass LCD Protective Glass Optical Equipment Cover Glass ;光學薄膜厚度監控;石英膜厚計 ;石英膜厚監控優缺點;;;廣波域光學膜厚計直接監控光譜選擇適當的評價方法需要準確的材料特性計算;Thank you for Your Listening !!