工业材料200105p105罗士哲扫描探针显微镜之原理与应用.pptVIP

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2019-08-04 发布于天津
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工业材料200105p105罗士哲扫描探针显微镜之原理与应用.ppt

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掃描探針顯微鏡之原理與應用 Dr. Rational You IEK/ITRI 2002/02/01 Outline 掃描探針顯微鏡系統架構 (a)探針尖端外形示意圖(b)以不同探針外形掃描相同輪廓試片之結果常見的三種SPM微探針穿隧電流感測器示意圖力量感測器示意音叉式光纖探針感測掃描探針顯微鏡之控制系統與定位平台掃描探針顯微鏡之應用例工研院機械所開發之掃描探針顯微鏡 Reference 1. Young, R., Ward, J. and Scire, F., Review of Scientific Instruments, 43, pp. 999-1011, 1972. 2. D. W. Abraham, H. J. Mamin, E. Ganz, and J. Clarke, IBM J. Res. Dev. 30, pp. 492, 1986. 3. 羅士哲、林熙翔、林錫甫﹐“掃描探針顯微加工之發展與應用”﹐機械工業雜誌﹐ Vol. 209, Aug. 2000, pp. 106-112 。 4. 林夏玉、蔡定平、羅士哲、黃珩春、王鴻年﹐“近場光學之原理與應用發展”﹐機械工業雜誌﹐ Vol. 209, Aug. 2000, pp. 99-105 。 5. Kuen-Syh Tseng, T. E. Hsieh, Shih-Che Lo and Hsi-Fu Lin, Search of optimum bias voltage for oxide patterning on Si using scanning tunneling microscope in air, Journal of Vacuum Science Technology B, Vol. 18, No. 2, Mar./Apr. 2000, pp. 639-643. RationalYou@; 2002/02/01 Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) Source: .tw (2001/05) RationalYou@; 2002/02/01