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第四章　电容式传感器 概述 电容式传感器是由一个或几个具有可变参数的电容器组成的传感器 。 应用：广泛应用于压力、位移、加速度、液位、成份含量等测量。 特点：结构简单、分辨力高，且具有良好的动态特性，易实现非接触测量，但介电常数受温度、湿度影响大。 §4-1 工作原理与类型 一、工作原理 电容传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测参数微小变化的信息转换成电容量的变化，然后通过测量电路转换成电压输出。 平板电容为 ?r ?? 极板介质的相对介电常数 ?0 ?? 真空介电常数 S ?? 极板面积 ? ?? 极板间距 二、类型 分类 变极距型—变极板间距 变面积型—变极板面积 变介电常数型—介质变化 结构形式一 结构形式二 结构形式三 §4-2 电容传感器分类比较 电容传感器分类比较 极距变化型差动式输出特性 Back 差动式灵敏度 差动式非线性误差 Back 电容式传感器的特点 优点： 温度稳定性好 结构简单，适应性强 动态响应好 可以实现非接触测量、具有平均效应 缺点： 输出阻抗高，负载能力差 寄生电容影响大 §4-3 测量电路 一、电桥电路 电桥的输出为一调幅波，经放大、相敏解调、滤波后获得输出，再推动显示仪表。 二、直流极化电路 弹性膜片在外力(气压、液压等)作用下发生位移，使电容量发生变化。电容器接于具有直流极化电压E0的电路中，电容的变化由高阻值电阻R转换为电压变化。 分析表明，输出电压uy和膜片移动速度近似成一阶系统的关系。 三、谐振电路 当传感电容Cx发生变化，谐振回路的阻抗发生相应变化 为了获得较好的线性，一般工作点应选择在谐振曲线一边的准线性区域内。 谐振电路 四、调频电路 传感器电容是振荡器谐振回路的一部分。输入量?传感器电容量变化?振荡频率变化? ?鉴频器变为电压变化? 放大后由记录器记录或显示仪表指示。 这种电路具有抗干扰性强、灵敏度高等优点，可测0.01?m的位移量。但缺点是电缆电容的影响较大。 ( 参见P.74图4-9) 将被测参数变换成电容量的测量装置。 1. 金属应变丝由于应变极限的限制，相对变化一般低于1%，半导体应变片可达20%，电容传感器的可达100%。 2. 灵敏度高，10-7。 3. 动态响应时间短。电容式传感器可动部分质量很小，固有频率很高，适用于动态信号的测量。 4. 机械损失小。电容式传感器电极间相互吸引力十分微小，又无摩擦存在，其自然热效应甚微，从而保证传感器具有较高的精度。 5. 结构简单，适应性强。电容传感器一般用金属作电极，以无机材料（如玻璃、石英、陶瓷等）作绝缘支撑，因此能承受很大的温度变化和各种形式的强辐射作用，适合恶劣环境中工作。 不足之处： 寄生电容影响较大，主要指连接电容极板的导线电容和传感器本身的泄露电容。寄生电容的存在降低了测量灵敏度，还引起非线性输出，甚至使传感器处于不稳定工作状态。 当电容传感器用于变间戏院里进行测量时具有非线性输出特性。 近年来，由于材料、工艺，特别是在测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好的解决，使电容传感器的优点得以充分发挥。 * 此为理想状态下，忽略边缘效应时公式。 由此可见，在?r ，S，d三个参数中，保持其中两个不变，改变另一个参数就可以使电容量改变——基本原理也。 * * 将被测参数变换成电容量的测量装置。 1. 金属应变丝由于应变极限的限制，相对变化一般低于1%，半导体应变片可达20%，电容传感器的可达100%。 2. 灵敏度高，10-7。 3. 动态响应时间短。电容式传感器可动部分质量很小，固有频率很高，适用于动态信号的测量。 4. 机械损失小。电容式传感器电极间相互吸引力十分微小，又无摩擦存在，其自然热效应甚微，从而保证传感器具有较高的精度。 5. 结构简单，适应性强。电容传感器一般用金属作电极，以无机材料（如玻璃、石英、陶瓷等）作绝缘支撑，因此能承受很大的温度变化和各种形式的强辐射作用，适合恶劣环境中工作。 不足之处： 寄生电容影响较大，主要指连接电容极板的导线电容和传感器本身的泄露电容。寄生电容的存在降低了测量灵敏度，还引起非线性输出，甚至使传感器处于不稳定工作状态。 当电容传感器用于变间戏院里进行测量时具有非线性输出特性。 近年来，由于材料、工艺，特别是在测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好的解决，使电容传感器的优点得以充分发挥。 * 此为理想状态下，忽略边缘效应时公式。 由此可见，在?r ，S，d三个参数中，保持