新片WAT测试讲解.pptxVIP

WAT 测量项目以及测试方法;WAT Introduction;Wafer Acceptance Test（晶片允收测试） 半导体硅片在完成所有制程工艺后，针对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。 通过对WAT数据的分析，我们可以发现半导体制程工艺中的问题，帮助制程工艺进行调整。 ;WAT系统介绍;WAT系统介绍;WAT系统介绍;WAT测试项目;;;Item name;2. Field Device;Item name;3. Junction;WAT Item Name (以N+/PW junction为例) : CNj IleakNj BvNj;4. Gate Oxide;WAT Item Name(以PW gate oxide为例) : Cgpw Toxpw BvCgpw;5. Resistor;Item name;Contact Resistance (RcN+/P+/Via);6. Bipolar Device;WAT Item Name(以NPN为例): HfeNpn BvNpn;7. Layout Rule Check;Thanks!