XPS和俄歇电子能谱课件.pptVIP

精选 精选 Z=3λ为平均逃逸深度，能逃逸到表面的电子数仅占0.05% 光电子和俄歇电子能谱 原理 特点 应用 内容 * 精选 原理 光电效应：光子的所有能量消耗于结合 电子的激发 能量关系可表示： 电子结合能 电子动能 原子的反冲能量， 可忽略不计 * 精选 根据激发源不同主要分为： X射线光电子能谱(X-Ray Photoelectron Spectrometer 简称 XPS) XPS采用能量为1000-1500ev的射线源，能激发内层电子 紫外光电子能谱(Ultraviolet Photoelectron Spectrometer 简称 UPS) UPS采用 或 作激发源,与X射线相比能量较低，只能使原子的价电子电离 光电子能谱 * 精选 光电子能谱的最大特点: 可以获得丰富的化学信息，它对样品的损伤 最轻微，定量也是最大。 缺点: 由于X射线不易聚焦，因而照射面积不大，不 适宜微区分析。 * 精选 1．元素及其化学状态的定性分析 方法：以实测光电子谱图与标准谱图相对照，根据元素特征峰位置(及其化学位移)确定样品中存在哪些元素(及这些元素存在于何种化合物中)。 定性分析原则上可以鉴定除氢、氦以外的